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新型氮化铝MEMS声压传感器技术
被引量:
2
1
作者
陈丽洁
雷亚辉
+3 位作者
于洋
杨月
朴胜春
龚李佳
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期1355-1362,共8页
为了解决水下声学传感器技术领域中一直存在的提高低频响应灵敏度方面的迫切需求,本文利用氮化铝新型氮化铝敏感材料与声传感器设计技术相结合进行了声学传感器设计技术研究。开展了基于MEMS微结构的弯曲振动声敏感模式、力敏特性与压...
为了解决水下声学传感器技术领域中一直存在的提高低频响应灵敏度方面的迫切需求,本文利用氮化铝新型氮化铝敏感材料与声传感器设计技术相结合进行了声学传感器设计技术研究。开展了基于MEMS微结构的弯曲振动声敏感模式、力敏特性与压电敏感特性耦合、电荷信号提取电极设计等相关技术验证研究,完成了氮化铝MEMS声传感器测试芯片的工艺与版图设计及加工与制作。通过样品测试分析,在典型检测电极上分别得到了0.61、1.12、1.64μV/Pa的单电极声压灵敏度和平坦的低频频率响应曲线,验证了基于ALN薄膜、采用弯曲振动模式的MEMS声敏感芯片设计可以实现低频高灵敏度声传感器。
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关键词
氮化铝薄膜
MEMS传感器
高灵敏度
低频响应
力学敏感结构
弯曲振动模式
水听器
灵敏度仿真
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职称材料
题名
新型氮化铝MEMS声压传感器技术
被引量:
2
1
作者
陈丽洁
雷亚辉
于洋
杨月
朴胜春
龚李佳
机构
哈尔滨工程大学水声技术重点实验室
中国电子科技集团公司第
哈尔滨工程大学水声工程学院
出处
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期1355-1362,共8页
基金
国家重点研发计划(2016YFC1400100).
文摘
为了解决水下声学传感器技术领域中一直存在的提高低频响应灵敏度方面的迫切需求,本文利用氮化铝新型氮化铝敏感材料与声传感器设计技术相结合进行了声学传感器设计技术研究。开展了基于MEMS微结构的弯曲振动声敏感模式、力敏特性与压电敏感特性耦合、电荷信号提取电极设计等相关技术验证研究,完成了氮化铝MEMS声传感器测试芯片的工艺与版图设计及加工与制作。通过样品测试分析,在典型检测电极上分别得到了0.61、1.12、1.64μV/Pa的单电极声压灵敏度和平坦的低频频率响应曲线,验证了基于ALN薄膜、采用弯曲振动模式的MEMS声敏感芯片设计可以实现低频高灵敏度声传感器。
关键词
氮化铝薄膜
MEMS传感器
高灵敏度
低频响应
力学敏感结构
弯曲振动模式
水听器
灵敏度仿真
Keywords
ALN film
MEMS sensor
high sensitivity
low frequency response
mechanical sensitive structure
bending vibration mode
hydrophone
sensitivity simulation
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型氮化铝MEMS声压传感器技术
陈丽洁
雷亚辉
于洋
杨月
朴胜春
龚李佳
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
2
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