大气状态下AFM阳极氧化加工重复性的研究

为实现多隧道结和多岛结构,针对室温大气环境下,利用AFM阳极氧化加工方法,对加工LT-GaAs衬底上的nm级厚度的钛膜的重复性进行了研究。本实验在一定的加工条件下,分别加工了点阵列和线阵列,通过最大残差法计算了它们宽度和高度的重复性百分比,得到所有的重复性百分比都小于1%,表明文中所提供的加工条件下,加工钛膜具有很好的重复性。同时,通过点阵列与线阵列的理论变换方法,进一步验证了在加工氧化钛线时采用0.1μm/s扫描速度的正确性。

在数控车床上实现相同轮廓零件的重复加工

通过坐标系平移,在FANCU-0TDⅡ的数控机床上实现了如同普通车床对大批相同轮廓零件的不间断的重复加工。