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一种摆式加速度计结构模态分析 被引量:2
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作者 尉飞艳 赵君辙 张朋好 《计测技术》 2014年第2期11-13,共3页
利用ANSYS软件对一种单轴摆式加速度计的结构进行了有限元分析,得出了各阶模态下加速度计结构的固有频率和振型,找到了处于该型加速度计通频带之内的模态频率。然后,对加速度计进行了结构优化,使各阶模态频率处于通频带之外,为加速度计... 利用ANSYS软件对一种单轴摆式加速度计的结构进行了有限元分析,得出了各阶模态下加速度计结构的固有频率和振型,找到了处于该型加速度计通频带之内的模态频率。然后,对加速度计进行了结构优化,使各阶模态频率处于通频带之外,为加速度计的结构改进提供了理论依据。 展开更多
关键词 ANSYS 加速度计结构 模态分析 振型
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电容式硅微结构加速度计动态特性的研究 被引量:2
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作者 洪连进 陈洪娟 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 2003年第3期220-222,共3页
为了克服传统的加速度计动态测试方法的不足 ,提出了一种借助于静电力来获得加速度计动态特性的方法 ,对这种方法进行了理论分析和试验研究 ,给出了利用该方法得到的加速度计频率特性曲线 ,并与在标准振动台上得到的结果进行了比较 ,结... 为了克服传统的加速度计动态测试方法的不足 ,提出了一种借助于静电力来获得加速度计动态特性的方法 ,对这种方法进行了理论分析和试验研究 ,给出了利用该方法得到的加速度计频率特性曲线 ,并与在标准振动台上得到的结果进行了比较 ,结果表明其误差小于 1.9%。 展开更多
关键词 电容式硅微结构速度计 动态测试 静电力 试验研究 振动台 测量误差
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自停止腐蚀工艺的观察
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作者 唐圣明 陈思琴 韩明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期408-409,共2页
关键词 自停止腐蚀工艺 大规模集成电路工艺 腐蚀剂 微机械器件 硅片腐蚀 微悬梁 加速度计结构
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(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式 被引量:7
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作者 郭涛 范波 +1 位作者 郭虎岗 高健飞 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期68-71,共4页
为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量... 为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量块结构的加速度计为模型,为了在加工过程中,得到完整的质量块结构,使结构具有更好的对称性,对各种凸角补偿方式进行了研究.利用(100)面硅片各向腐蚀速率的快慢特性和一定的几何知识,计算出各种凸角补偿方式最佳的补偿几何尺寸模型.这样,在设计加速度计制造工艺时,就可以直接利用这些尺寸模型,得到最佳的结构. 展开更多
关键词 梁-质量块结构速度计 湿法腐蚀 凸角补偿 各向异性腐蚀
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解决侵彻信号连粘的新型传感技术 被引量:3
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作者 黄用 崔敏 《自动化与仪表》 2018年第11期61-66,共6页
针对目前利用传统的岛梁结构加速度计测量侵彻计层信号容易出现信号粘连以及信号拖尾的问题,该文提出了一种新型基于陶瓷叠层电容组加速度传感器测量侵彻信号。通过软件ANSYS/LS-DYNA对所设计的陶瓷叠层电容组结构和传统岛梁结构的加速... 针对目前利用传统的岛梁结构加速度计测量侵彻计层信号容易出现信号粘连以及信号拖尾的问题,该文提出了一种新型基于陶瓷叠层电容组加速度传感器测量侵彻信号。通过软件ANSYS/LS-DYNA对所设计的陶瓷叠层电容组结构和传统岛梁结构的加速度计进行模态和瞬态分析对比,结果表明陶瓷电容传感器结构合理,能够可靠地接收振动信号,在侵彻计层中具有一定的工程应用价值。 展开更多
关键词 信号连粘 信号拖尾 岛梁结构速度计 陶瓷叠层电容组
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Probabilistic Seismic Hazard Assessment for Jamaica
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作者 Walter Salazar Lyndon Brown Garth Mannette 《Journal of Civil Engineering and Architecture》 2013年第9期1118-1140,共23页
A probabilistic seismic hazard analysis was performed to generate seismic hazard maps for Jamaica. The analysis was then conducted using a standard logic-tree approach that allowed systematically taking into account t... A probabilistic seismic hazard analysis was performed to generate seismic hazard maps for Jamaica. The analysis was then conducted using a standard logic-tree approach that allowed systematically taking into account the model-based (i.e., epistemic) uncertainty and its influence on the computed ground motion parameters. Hazard computations have been performed using a grid of sites with a space of 0.05 degrees. Two different computation methodologies have been adopted: the standard approach based on the definition of appropriate seismogenic sources and the zone-free approach, which overcomes the ambiguities related with the definition of the seismic sources solely reflecting the characteristics of the earthquake catalogue. A comprehensive and updated earthquake catalogue for Jamaica has been compiled for the years 1551-2010 and new empirical relationships amongst magnitudes Mze-Ms and Mw-mb have been developed for the region. Uniform hazard spectra and their uncertainty have been calculated for the horizontal component of ground motion for rock site conditions and five return periods (95, 475, 975, 2,475 and 4,975 years) and spectral accelerations for 34 structural periods ranging from 0 to 3 s, and 5% of critical damping. The spectral accelerations have been calculated to allow the definition of seismic hazard in Jamaica according to the International Building Code 2012. The disaggregation analysis for Kingston Metropolitan Area suggests that the magnitude-distance pair that contributes most to the hazard corresponds to events with M 7.8 and M 7.0 in the Enriquillo Plantain Garden Fault and the Jamaican Faults at a distance of 28 km and 18 km for short and long period structures respectively corresponding to 2,475 years return period. However, for long period structures, a substantial contribution is found for a M 8.2 at a distance of 198 km in the Oriente Fault Zone. 展开更多
关键词 Earthquake catalogue GMPE's (ground motion prediction equations) seismic hazard response spectrum disaggregationanalysis.
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