SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型

提出SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型(TKM),同时考虑传递过程和表面化学反应动力学对硅沉积速率的影响。研究硅沉积过程受表面化学反应速率限制和传递速率限制的边界条件,并且研究表面化学反应速率受氢气浓度限制或SiHCl_3(TCS)浓度限制的边界条件,提出同时受氢气浓度限制和TCS浓度限制的边界条件。为了验证TKM的有效性,应用该模型计算硅棒长度为2 m、硅棒直径为10 cm、气流速度为0.67 m/s、硅棒表面温度为1 398 K、常压(0.1 MPa)条件下,不同H_2/SiHCl_3配比下的硅沉积速率。研究结果表明:通过TKM的计算结果与Habuka所测得的实验数据比较,相对误差为3.6%(小于10%),表明该模型准确可靠。

浮筏隔振系统的传递功率流研究

针对实际工程中浮筏装置的隔振性能评估,推导了一种用于浮筏隔振系统传递功率流计算的新方法,并利用本方法进行实例计算,预测各子系统联接界面或耦合点的功率流,描绘各耦合界面的传递功率谱。分析浮筏安装非对称性、机组振幅比对传递功率流的影响。

矿用提升机软启动/无级调速传动系统研究

为适应大功率矿用提升机频繁启动调速要求,提出一种可实现软启动、无级调速、软停机、自重可控下放、过载保护和防爆等功能于一体的新型软启动/无级调速传动系统,分析建立该系统的动力传递模型,设计出虚拟样机,制造出物理样机,并在生产现场应用,证实了该软启动/无级调速传动系统设计与分析的正确性。