原子分辨率晶体结构的高分辨电子显微学研究

本文以GaP{111}孪晶界面高分辨电子显微像为例,将解卷处理和动力学散射效应校正相结合的技术应用于晶体界面处显微像的研究。椭圆窗口作为一种新的手段用于含有面缺陷晶体的傅里叶滤波和衍射振幅校正。所用GaP{111}高分辨像的模拟参数对应于200kV场发射高分辨电子显微镜。经过图像处理之后,不同样品厚度的模拟像均转变成结构像,其中原子柱均显示在正确的位置上。对GaP进行解卷处理的临界厚度做了详细的讨论。