基于Simul8的半导体生产线建模关键技术研究

在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想,给出了各自基于Simul8的实现方法。对于高度复杂的动态加工区,给出了3种解决方法,从仿真速度上比较其优劣。仿真应用表明,提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能,使仿真指导生产具有可行性。