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基于高阶谐振悬臂的动态原子力显微镜的研制
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作者 赵阳 黄强先 《低温与超导》 CAS 北大核心 2014年第5期88-92,共5页
动态原子力显微镜微悬臂为无限自由度系统,具有多个谐振模态的振动特性。微悬臂的工作振动频率是影响动态原子力显微镜系统的测量特性的关键参数之一,为了提高微悬臂的谐振频率,结合悬臂的高阶谐振特性,研制了基于高阶谐振悬臂的轻敲式... 动态原子力显微镜微悬臂为无限自由度系统,具有多个谐振模态的振动特性。微悬臂的工作振动频率是影响动态原子力显微镜系统的测量特性的关键参数之一,为了提高微悬臂的谐振频率,结合悬臂的高阶谐振特性,研制了基于高阶谐振悬臂的轻敲式动态原子力显微镜,可实现对微观表面的测量,并且明显改善了动态原子力显微镜系统的测量灵敏度、测量速度等测量特性。 展开更多
关键词 高阶谐振 轻敲模式 幅值反馈控制 动态原子力显微镜
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亚纳米精度长度溯源计量型动态模式原子力显微镜 被引量:1
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作者 黄强先 ■太聪 +1 位作者 三隅伊知子 黑澤富藏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期195-199,共5页
通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM)。此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移。激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免... 通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM)。此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移。激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免系统的阿贝误差,使AFM具有极高的测量精度。除此之外,扫描过程中三轴激光干涉仪系统还用于工作台x,y方向位移的反馈控制,完全克服AFM中压电器件的缺陷对水平尺寸测量的影响。分析表明.在对纳米标准栅的平均栅距测量中,AFM系统达到亚纳米的测量精度。 展开更多
关键词 长度溯源 激光干涉仪 动态模式原子力显微镜 纳米计量
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高灵敏度开尔文探针力显微镜测量方法及其研究现状 被引量:3
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作者 金晨 许军 +3 位作者 王慧云 董诚 王旭东 马宗敏 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第6期545-557,共13页
开尔文探针力显微镜(KPFM)不仅能够表征多种平整材料的表面形貌,还能对材料表面电势进行纳米级的成像。简单介绍了KPFM的基本工作原理与接触电势差(CPD)的概念,并介绍了幅度调制模式KPFM(AM-KPFM)、频率调制模式KPFM(FM-KPFM)与外差幅... 开尔文探针力显微镜(KPFM)不仅能够表征多种平整材料的表面形貌,还能对材料表面电势进行纳米级的成像。简单介绍了KPFM的基本工作原理与接触电势差(CPD)的概念,并介绍了幅度调制模式KPFM(AM-KPFM)、频率调制模式KPFM(FM-KPFM)与外差幅度调制模式(HAM-KPFM)这三种重要测量方法及其应用。系统综述了KPFM的国内外应用研究现状,详细介绍了其在金属纳米结构、半导体纳米结构表征方面的超高灵敏度与分辨率,总结了其在多种领域电特性表征中的广泛应用。最后对不同工作模式的KPFM进行了对比总结,展望了KPFM的未来发展。 展开更多
关键词 开尔文探针力显微镜(KPFM) 接触电势差(CPD) 超高分辨率 纳米级成像 动态原子力显微镜(AFM)
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扫描近场光学显微镜中探针样品间距控制方法 被引量:1
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作者 王昭 吴世法 《微纳电子技术》 CAS 2008年第11期662-667,共6页
在动态原子力与近场光学扫描显微镜中,探针与样品的间距关系到分辨率以及扫描速度这两个最重要参数的性能。在对几种主要的动态原子力/扫描近场光学组合显微镜的探针/样品间距控制模式分析的基础上,认为提高探针Q值是提高扫描显微镜分... 在动态原子力与近场光学扫描显微镜中,探针与样品的间距关系到分辨率以及扫描速度这两个最重要参数的性能。在对几种主要的动态原子力/扫描近场光学组合显微镜的探针/样品间距控制模式分析的基础上,认为提高探针Q值是提高扫描显微镜分辨率的有效方法。但是,对采用检测控制探针振幅模式,期望在提高分辨率的同时加快扫描成像速度是不可实现的,因而限制了其发展的空间。而在检测控制探针频率模式下,提高探针Q值,可有效提高扫描探针显微镜的分辨率,且不会制约扫描成像速度的提高。该结论为将来的纳米操作和纳米超高密度光存储的实用化提供了可能,对大连理工大学近场光学与纳米技术研究所研制的原子力与光子扫描隧道组合显微镜(AF/PSTM)的改进和产业化具有积极意义。 展开更多
关键词 动态原子力显微镜 近场扫描光学显微镜 间距控制 控制模式 扫描速度 分辨率
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Morphologies of Eumelanins from the Ink of Six Cephalopods Species Measured by Atomic Force Microscopy
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作者 SUN Yulin TIAN Li +6 位作者 WEN Jing ZHAO Juan ZHANG Wei XIE Chunyao ZHOU Meiqing QIU Xiaoying CHEN Daohai 《Journal of Ocean University of China》 SCIE CAS CSCD 2017年第3期461-467,共7页
The morphologies of eumelanin, isolated from the six cephalopods species Sepia esculenta, Sepia lycidas, Sepia pharaonis, Sepiella japonica, Euprymna berryi, and Uroteuthis(Photololigo) edulis, were investigated using... The morphologies of eumelanin, isolated from the six cephalopods species Sepia esculenta, Sepia lycidas, Sepia pharaonis, Sepiella japonica, Euprymna berryi, and Uroteuthis(Photololigo) edulis, were investigated using atomic force microscopy(AFM). The results showed that the hierarchical aggregate structures of irregular spherical particles with different diameters are the common characteristics of these eumelanins. Furthermore, the diameters of these spherical particles present an uneven distribution in a wide range and mainly concentrate in the range of about 20-150 nm. In addition, the eumelanin from different cephalopods species show obvious differences in the morphologies, which is illustrated by different assembly forms of diverse aggregate units and the quantitative features of eumelanin particles derived from the images. 展开更多
关键词 eumelanins CEPHALOPODS morphology atomic force microscopy
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