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动态电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米IC失效分析中的应用研究
被引量:
2
1
作者
王勇
李兴鸿
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期40-42,47,共4页
对扫描电子显微镜静态/动态/电容耦合电压衬度像、电子束感生电流像、电阻衬度像在亚微米和深亚微米超大规模集成电路中的成像方法和成像特点进行了研究,对各种分析技术在失效分析中的应用进行了深入的探讨,为电子束探针检测技术在亚微...
对扫描电子显微镜静态/动态/电容耦合电压衬度像、电子束感生电流像、电阻衬度像在亚微米和深亚微米超大规模集成电路中的成像方法和成像特点进行了研究,对各种分析技术在失效分析中的应用进行了深入的探讨,为电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米集成电路故障定位和失效机理分析中的应用提供了理论基础和实践依据。
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关键词
扫描
电子
显微镜
集成电路
失效分析
动态电子束探针检测
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职称材料
题名
动态电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米IC失效分析中的应用研究
被引量:
2
1
作者
王勇
李兴鸿
机构
北京微电子技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期40-42,47,共4页
文摘
对扫描电子显微镜静态/动态/电容耦合电压衬度像、电子束感生电流像、电阻衬度像在亚微米和深亚微米超大规模集成电路中的成像方法和成像特点进行了研究,对各种分析技术在失效分析中的应用进行了深入的探讨,为电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米集成电路故障定位和失效机理分析中的应用提供了理论基础和实践依据。
关键词
扫描
电子
显微镜
集成电路
失效分析
动态电子束探针检测
Keywords
SEM
IC
failure analysis
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
动态电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米IC失效分析中的应用研究
王勇
李兴鸿
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
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