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动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制
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作者 付永启 刘怀道 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第1期29-32,共4页
本文详细论述了动态目标发生器圆鼓图形光学刻划掩模板的设计思想及其制作过程,经试刻效果良好.为非球面光刻掩模板的制作开创了一条新途径。
关键词 动态目标发生器 掩模板 光刻
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观瞄仪目标发生器准直投影系统的设计 被引量:1
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作者 韩军 师永栋 +2 位作者 陈文建 杨建莉 胡斐 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期663-667,共5页
针对空间标准动态目标发生器的设计指标要求,对卡塞格林R-C系统进行了改进,通过在第2镜和像面之间加入一片双曲面镜,设计完成了焦距为1 600mm、相对孔径为1∶1.2、视场角为1°、工作波段在0.4μm^0.7μm和8μm^12μm的共轴三反射光... 针对空间标准动态目标发生器的设计指标要求,对卡塞格林R-C系统进行了改进,通过在第2镜和像面之间加入一片双曲面镜,设计完成了焦距为1 600mm、相对孔径为1∶1.2、视场角为1°、工作波段在0.4μm^0.7μm和8μm^12μm的共轴三反射光学系统。设计结果表明:该系统弥散斑RMS小于5μm,在可见光波段与远红外波段相应的空间频率处,此共轴三反系统的调制传递函数值均大于0.7,接近衍射极限,满足系统对成像质量的要求。 展开更多
关键词 空间标准动态目标发生器 光学设计 卡塞格林R-C系统 共轴三反系统
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光电成像系统动态调制传递函数测量装置 被引量:3
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作者 姜昌录 袁良 +5 位作者 汪建刚 李辉 王生云 康登魁 杨朋利 王雷 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期592-596,共5页
在光电成像系统中,动态调制传递函数受到光学系统波像差、探测组件信号分辨率及传递特性以及载体运动引起图像模糊等环节对图像质量的综合影响,成为光电成像系统的重要参数之一。论文基于光电成像系统动静态调制传递函数的测试原理,研... 在光电成像系统中,动态调制传递函数受到光学系统波像差、探测组件信号分辨率及传递特性以及载体运动引起图像模糊等环节对图像质量的综合影响,成为光电成像系统的重要参数之一。论文基于光电成像系统动静态调制传递函数的测试原理,研制一种动态调制传递函数测量装置,其中光学准直系统焦距为10000 mm,运动目标速度控制范围达到30 mm/s~5000 mm/s,满足长焦距光电成像系统的动态调制传递函数测试。利用该装置进行了一系列的实验研究,结果表明,动态调制传递函数测量重复性优于0.01,测量不确定度达到U=0.05(k=2)。 展开更多
关键词 光电成像系统 动态调制传递函数 动态目标发生器 光学准直系统
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CCD相机动态传递函数核心测试设备的设计 被引量:2
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作者 何煦 陈琦 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期464-468,共5页
高分辨率CCD相机的动态传递函数测试设备主要用在实验室条件时使用,模拟相机在飞行状态时地面景物的空间运动轨迹,综合评价相机系统在自身动态像移补偿、偏流角控制下的成像质量。与传统的静态传递函数相比,该项指标能够更好地反映CCD... 高分辨率CCD相机的动态传递函数测试设备主要用在实验室条件时使用,模拟相机在飞行状态时地面景物的空间运动轨迹,综合评价相机系统在自身动态像移补偿、偏流角控制下的成像质量。与传统的静态传递函数相比,该项指标能够更好地反映CCD相机在实际工作状态下的成像质量。以动态传递函数测试的基本原理为基础,提出了系统中的关键测试设备—动态目标发生器的研制思路,并对设备的测试精度进行了分析,得到了动态目标发生器光学/机械系统的工程化设计方案。 展开更多
关键词 动态传递函数 CCD相机 成像质量 动态目标发生器
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超微细加工及设备
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《中国光学》 EI CAS 1996年第4期95-95,共1页
TM305.7 96042760长光栅动态刻划机稳定性可靠性的研究与分析=Study and analysis on the stable reliability oflong grating dynamic ruling engine[刊,中]/孔曜(中国航空精密机械研究所)∥航空精密制造技术.—1996,32(1).
关键词 动态刻划 研究与分析 长光栅 精密制造技术 动态目标发生器 超微细加工 光刻工艺 可靠性 精密机械 稳定性
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