串联电容的静电驱动微执行器的动态Pull-in模型

在MEMS执行器的设计中,求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,在准静态假设下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模型已经被提出,并且还提出了一些拓宽微执行器稳定行程的方法。在动态条件下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模型也已经被提出。但是,还没有人研究如何提高微执行器动态稳定行程。采用串联电容的方法来拓宽MEMS执行器的动态稳定行程,提出了串联电容后的动态pull-in模型。最后,采用数值解法模拟了串联电容后的动态pull-in现象,并同时考虑了阻尼的影响。

带载流导体微机电系统动态Pull-in阈值研究

利用动力系统和微分方程定性理论研究了带载流导体微机电系统动态pull-in阈值。通过对系统轨线的分析,得到该系统集总参数存在唯一的阈值;分析该阈值与系统周期解、pull-in解和趋于平衡态解之间的关系,进一步得到当集总参数超过该阈值时,系统发生动态pull-in。