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督灸结合助气解麻汤对肿瘤患者输液港并发症的预防效果分析
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作者 吴琼 董倩 +3 位作者 高洁 张阳 李红超 刘唯唯 《西部中医药》 2024年第5期158-161,共4页
目的:探讨督灸结合助气解麻汤对气虚血瘀型肿瘤患者输液港并发症的预防效果。方法:将100例进行化疗治疗的恶性肿瘤患者按随机数字表法分为对照组和观察组各50例。两组患者由相同医生执行完全植入式输液港(totally implantable venous ac... 目的:探讨督灸结合助气解麻汤对气虚血瘀型肿瘤患者输液港并发症的预防效果。方法:将100例进行化疗治疗的恶性肿瘤患者按随机数字表法分为对照组和观察组各50例。两组患者由相同医生执行完全植入式输液港(totally implantable venous access port,TIAP)。对照组术后第1天进行常规护理,观察组在对照组基础上予督灸结合助气解麻汤干预,两组疗程均为2周。比较两组患者静脉炎、置管感染发生情况及气虚血瘀证主症评分。结果:观察组静脉炎发生率为4.00%(2/50),低于对照组的20.00%(10/50)(P<0.05);观察组导管尖端异位、导管渗漏、导管堵塞、感染的总发生率为8.00%(4/50),低于对照组的26.00%(13/50)(P<0.05);治疗后两组患者气虚血瘀证主症评分均降低(P<0.01),观察组降低程度高于对照组(P<0.01)。结论:对于肿瘤进行输液港患者在西医常规护理措施的基础上,采取督灸结合助气解麻汤有助于降低患者静脉炎,预防置管感染,并促进中医证候的改善。 展开更多
关键词 肿瘤 督灸 虚血瘀证 完全植入式输液港 并发症 助气解麻汤
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助气补漏汤治疗妇科出血症的体会
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作者 江婉君 《四川中医》 1995年第8期43-43,共1页
助气补漏汤出自《付青主女科》,由人参、白芍、黄芩、生地、益母草、续断、甘草等七味药组成。具有益气摄血,滋阴清热,化瘀止血之功效。原方主治胎漏。付氏云:“此方用人参以补阳气,用黄芩以泄阴火。火泄则血不热而无欲动之机,气旺则血... 助气补漏汤出自《付青主女科》,由人参、白芍、黄芩、生地、益母草、续断、甘草等七味药组成。具有益气摄血,滋阴清热,化瘀止血之功效。原方主治胎漏。付氏云:“此方用人参以补阳气,用黄芩以泄阴火。火泄则血不热而无欲动之机,气旺则血有依而无可漏之窍,气血俱旺而和协,自然归经而各安其所矣,又安有漏泄之患哉!”故凡因虚、热、瘀引起的妇科出血症皆可用之。笔者用此方加减,移治月经过多、崩漏、恶露不绝、赤带等症,取效甚佳,特介绍如下: 展开更多
关键词 妇科 出血 助气补漏汤 中医药疗法
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寿胎丸合助气补漏汤治疗先兆流产218例 被引量:2
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作者 郑春霞 《河南中医》 2002年第5期65-65,共1页
关键词 先兆流产 寿胎丸 助气补漏汤 疗效
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助气补漏汤加减治疗助孕后先兆流产87例 被引量:2
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作者 金玲丽 《浙江中医杂志》 2010年第10期747-748,共2页
关键词 助气补漏汤 生殖 先兆流产 临床观察
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助气敛血汤加味联合常规治疗剖宫产后恶露不绝临床研究
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作者 舒莉 郑元锋 +1 位作者 姚慧珍 吴凌燕 《新中医》 CAS 2022年第20期15-17,共3页
目的:观察助气敛血汤加味联合常规治疗剖宫产后气虚证恶露不绝患者的效果。方法:选择行剖宫产分娩的产妇200例,按随机数字表法分为治疗组和对照组各100例。对照组给予常规治疗措施;治疗组在对照组的基础上给予助气敛血汤加味治疗。2组... 目的:观察助气敛血汤加味联合常规治疗剖宫产后气虚证恶露不绝患者的效果。方法:选择行剖宫产分娩的产妇200例,按随机数字表法分为治疗组和对照组各100例。对照组给予常规治疗措施;治疗组在对照组的基础上给予助气敛血汤加味治疗。2组疗程均为2周。比较2组恶露改善情况、气虚证证候评分及临床疗效。结果:治疗组总有效率为100%,对照组为94.00%,2组比较,差异有统计学意义(P<0.05)。治疗后,治疗组平均止血时间短于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。治疗组止血率为98.00%,对照组为90.00%,2组比较,差异有统计学意义(P<0.05)。治疗前,2组小腹空坠、精神疲乏、气短懒言、面色?白等中医证候评分比较,差异无统计学意义(P>0.05);治疗后,2组上述各项证候评分均较治疗前降低(P<0.05),且治疗组各项证候评分均低于对照组(P<0.05)。结论:在西医常规干预措施的基础上联合助气敛血汤加味治疗剖宫产后气虚证恶露不绝,可缩短出血时间,改善临床症状,提高疗效。 展开更多
关键词 剖宫产 恶露不绝 虚证 助气敛血汤
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CA—1助气剂在FCCU的试用
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作者 陈喜亮 《催化裂化》 1997年第1期56-58,64,共4页
关键词 天然 催化裂化 助气 液化石油
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《傅青主女科》助气补漏汤结合中医针对性护理对先兆流产的应用
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作者 毕立雄 王维 殷丽娟 《中国科技期刊数据库 医药》 2023年第11期147-149,共3页
分析《傅青主女科》助气补漏汤结合中医针对性护理对先兆流产的应用价值。方法 选择我院于2022.1-2022.12月,1年内收治的90例先兆流产患者,将所有患者随机分组为对照组(45例,采用常规方法护理)和观察组(45例,实施《傅青主女科》助气补... 分析《傅青主女科》助气补漏汤结合中医针对性护理对先兆流产的应用价值。方法 选择我院于2022.1-2022.12月,1年内收治的90例先兆流产患者,将所有患者随机分组为对照组(45例,采用常规方法护理)和观察组(45例,实施《傅青主女科》助气补漏汤结合中医针对性护理)。结果 观察组临床症状改善时间、不良妊娠结局发生率均明显低于对照组,观察组孕激素水平、生活质量均明显高于对照组,差异显著(P<0.05)。结论 《傅青主女科》助气补漏汤结合中医针对性护理可显著改善先兆流产患者孕激素水平,快速缓解临床症状,提高患者生活质量,减少不良妊娠结局发生,有较高应用价值。 展开更多
关键词 《傅青主女科》助气补漏汤 中医针对性护理 先兆流产 应用
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气助式静电喷头感应电场及荷质比研究
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作者 汪明 戴世群 +4 位作者 刘世超 欧鸣雄 贾卫东 董祥 陈宏 《农机化研究》 北大核心 2024年第10期192-196,共5页
气助式静电喷雾技术在果园植保机械中被广泛应用,能够有效增加雾滴在叶片背面的沉积。为此,通过数值仿真计算了气助式静电喷头的电极环中心线上的电场分布,并根据电极环的轮廓参数设计正交试验研究了电极环外径、内径和厚度对电场强度... 气助式静电喷雾技术在果园植保机械中被广泛应用,能够有效增加雾滴在叶片背面的沉积。为此,通过数值仿真计算了气助式静电喷头的电极环中心线上的电场分布,并根据电极环的轮廓参数设计正交试验研究了电极环外径、内径和厚度对电场强度影响的显著性;确定了最优工作参数为外径30mm、内径4mm和厚度1mm;根据最优工作参数研究了荷电电压对电场强度和荷质比的影响规律,当荷电电压为3kV时,荷质比达到3.41mC/kg。 展开更多
关键词 静电喷雾 电场强度 荷质比 数值仿真
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基于《黄帝内经》“阳化气、阴成形”理论探讨“助阳化气”法防治肠道肿瘤
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作者 史海晶 刘江涛 刘鹏飞 《中医临床研究》 2024年第10期48-52,共5页
结直肠肿瘤是我国常见的消化道肿瘤之一,其病因病机复杂且病势发展较快。西医多以手术切除、放化疗等治疗为主。患者生存期和生活质量较差,且易复发转移。中医药防治结直肠肿瘤具有一定优势,既能在肿瘤形成前进行有效干预,又能在肿瘤形... 结直肠肿瘤是我国常见的消化道肿瘤之一,其病因病机复杂且病势发展较快。西医多以手术切除、放化疗等治疗为主。患者生存期和生活质量较差,且易复发转移。中医药防治结直肠肿瘤具有一定优势,既能在肿瘤形成前进行有效干预,又能在肿瘤形成后或术后进行有效辨证论治,提高患者生存率和生活质量,避免放化疗后机体难耐和各种不良反应。肠道肿瘤形成与“阴邪凝滞,气结成形”密切相关,而“助阳化气”法能够在肠道肿瘤发生发展的各个阶段进行有效干预,并可结合针灸等外治法协同起效,共同抑制放化疗不良反应,提高机体免疫力。文章基于《黄帝内经》中“阳化气、阴成形”理论深入探讨肠道肿瘤的病程发展、病机,运用“助阳化气”法进行中医药防治,提出在肠道肿瘤形成前的癌前病变期采用“助阳化气”的苓桂剂等来调节肠道失稳状态,防止病情进展。在肿瘤形成后借中药“阳化气”之功使有形的肿瘤逐渐消散于无形,扶正驱邪,预防肿瘤复发转移。总之,所有的治疗手段均在人体耐受情况下进行,准确判断正邪之势且遵循“先留人,再祛病”的以人为本的治疗原则,通过对“阳化气、阴成形”理论的深入解读并结合张机(字仲景)经方思维正确指导防治肠道肿瘤,收效满意。 展开更多
关键词 肠道肿瘤 阳化 阴成形 阳化 辛甘化阳
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气助式尿素喷射系统和非气助式喷射系统排放差异研究
10
作者 朱莉莉 石魁 房瑞雪 《内燃机与配件》 2024年第19期45-47,共3页
本文研究了两种主流的尿素喷射系统(即非空气辅助式尿素喷射系统与空气辅助式尿素喷射系统)对柴油机的排放的影响,得出如下结论:在同一台样机上进行气助式和非气助式的ESC循环和ETC循环排放试验时,当电控数据标定相同时,气助式喷射系统... 本文研究了两种主流的尿素喷射系统(即非空气辅助式尿素喷射系统与空气辅助式尿素喷射系统)对柴油机的排放的影响,得出如下结论:在同一台样机上进行气助式和非气助式的ESC循环和ETC循环排放试验时,当电控数据标定相同时,气助式喷射系统的实际尿素喷射量较非气助式喷射系统低4%左右,且NOx排放结果较非气助式喷射系统略高;当实际尿素喷射量相同时,气助式喷射系统和非气助式喷射系统的NOx排放结果一致,即两种喷射系统对NOx的转化效率基本相同,但气助式喷射系统的尿素溢出量略高,尿素在SCR中结晶的风险较低,可以有效降低市场结晶故障风险。 展开更多
关键词 尿素 喷射系统
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果园风送喷雾机气助式喷头风力性能数值模拟与试验 被引量:5
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作者 杨风波 张玲 +3 位作者 薛新宇 金永奎 陈晨 孙涛 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期38-47,共10页
针对直筒型气助式喷头风力性能较弱的问题,结合单点风速测试和数值模拟,研究了一种"尾部先收缩后扩张"气助式喷头的尾部参数对风力性能的影响规律。首先,采用雷诺平均N-S(Navier-Stokes)方程及RNG(Renormalization group)k-... 针对直筒型气助式喷头风力性能较弱的问题,结合单点风速测试和数值模拟,研究了一种"尾部先收缩后扩张"气助式喷头的尾部参数对风力性能的影响规律。首先,采用雷诺平均N-S(Navier-Stokes)方程及RNG(Renormalization group)k-ε湍流模型,建立了该型喷头的流场计算模型,基于风速测试验证了该模型的有效性与可靠性;其次,通过数值计算对比了两种喷头的风力性能,结果表明,在进口参数总压105 600 Pa、静压105 200 Pa时,本文所提喷头出口平均风速是直筒型喷头对应值的1.36倍。为了研究尾部参数(收敛段内缩长度、扩张段高度)对本文所提喷头风力性能的影响,以数值计算、Opt LHD(Optimal latin hypercube design)试验设计、径向基函数神经网络(Radial basis function neural network,RBFNN)为理论基础,构建了风力性能参数的代理模型,出口端流量、平均风速的代理模型R2分别为0.983 54、0.987 28,表明该模型可用于喷头风力性能预测,指导参数科学配置。基于代理模型,对喷头风力性能参数的影响因子进行了分析及单目标优化,随着扩张段高度、收敛段内缩长度的增大,出口端平均风速均呈现下降趋势,而流量均呈现先上升后下降的变化趋势;当扩张段高度、收敛段内缩长度取值为1.08、5.39 mm时,出风量达到最大值0.017 9 kg/s;而两值分别取0、0 mm时,末端平均风速达到最大值67.9 m/s。针对末端流量、平均风速相互矛盾的问题,进行了多目标优化,得到了喷射性能参数最优Pareto解集,为气助式喷头与果园间的优化匹配设计提供了参考。 展开更多
关键词 果园风送喷雾机 式喷头 风力性能 数值模拟 试验
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气助式静电喷雾靶标物背部沉积特性 被引量:12
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作者 吴春笃 拾亚男 +1 位作者 张波 蒋超峰 《排灌机械》 EI 2009年第4期242-246,共5页
为了研究气助式静电喷雾中,药液雾化特性对其靶标背部沉积效果的影响,采用Ф80 mm的西红柿果实作为靶标,配制1 g/L的刚果红溶液模拟农药进行喷雾试验.运用OLID测试系统对不同施药条件(气体压力、静电电压、喷雾距离)下药液的雾化特性进... 为了研究气助式静电喷雾中,药液雾化特性对其靶标背部沉积效果的影响,采用Ф80 mm的西红柿果实作为靶标,配制1 g/L的刚果红溶液模拟农药进行喷雾试验.运用OLID测试系统对不同施药条件(气体压力、静电电压、喷雾距离)下药液的雾化特性进行了测试,借助分光光度计定量分析靶标背部沉积量,结合试验结果对药液雾化特性与靶标背部沉积效果的关系进行了分析和讨论.结果表明:非静电喷雾时,雾滴不易粘附于标靶背部,与荷电喷雾时相比,背部沉积量较小可以忽略;在气动力和静电力的前后作用下,雾滴的粒径随气体压力、静电电压的增加而减小且分布愈均匀;增加气体压力、静电电压均可提高药液靶标背部的沉积量,其中静电电压影响最大;荷电喷雾时,雾滴的粒径愈小分布愈均匀有利于荷电药液在靶标物背部沉积. 展开更多
关键词 式静电喷雾 靶标背部 沉积效果 农药污染 西红柿果实
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温针灸联合自拟助阳化气汤治疗肾阳虚型勃起功能障碍疗效观察 被引量:16
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作者 李瑞国 孙自学 《北京中医药》 2019年第9期924-926,共3页
目的探讨温针灸联合自拟助阳化气汤治疗肾阳虚型勃起功能障碍(ED)的疗效。方法选取2015年1月—2016年1月于河南中医药大学第三附属医院接受治疗的肾阳虚型ED患者150例,用随机数字表法将患者分为针灸组、中药组及针药联合组,各50例。针... 目的探讨温针灸联合自拟助阳化气汤治疗肾阳虚型勃起功能障碍(ED)的疗效。方法选取2015年1月—2016年1月于河南中医药大学第三附属医院接受治疗的肾阳虚型ED患者150例,用随机数字表法将患者分为针灸组、中药组及针药联合组,各50例。针灸组给予温针灸治疗,1次/天,15天为1个疗程,共治疗2个疗程;中药组给予自拟助阳化气汤治疗,2次/天,15天为1个疗程,共治疗2个疗程;针药联合组给予温针灸联合助阳化气汤口服治疗,治法及疗程同以上2组。治疗后比较3组疗效,治疗前后采用放射免疫法检测3组性激素水平,用国际勃起功能评分表(IIEF-5)评价患者勃起功能。结果针药联合组有效率高于针灸组、中药组(P<0.05),针灸组与中药组有效率比较差异无统计学意义(P>0.05)。治疗后针药联合组IIEF-5评分较针灸组、中药组高(P<0.05)。结论温针灸联合自拟助阳化气汤治疗肾阳虚型ED效果显著,可调节激素水平,改善勃起功能。 展开更多
关键词 勃起功能障碍 温针灸 阳化 睾酮 雌二醇
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浅薄层稠油水平井混合气与助排剂辅助蒸汽吞吐研究 被引量:3
14
作者 卢川 刘慧卿 +3 位作者 卢克勤 孟威 佟琳 郭睿 《石油钻采工艺》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期106-109,共4页
为进一步研究水平井混合气(烟道气)与助排剂辅助蒸汽吞吐技术在浅薄层稠油油藏的应用,利用室内物理模拟实验对辅助方式的驱油效率和封堵能力进行评价,并通过数值模拟方法对研究区块适合水平井混合气助排剂辅助蒸汽吞吐的地质界限及最优... 为进一步研究水平井混合气(烟道气)与助排剂辅助蒸汽吞吐技术在浅薄层稠油油藏的应用,利用室内物理模拟实验对辅助方式的驱油效率和封堵能力进行评价,并通过数值模拟方法对研究区块适合水平井混合气助排剂辅助蒸汽吞吐的地质界限及最优参数进行限定和优化。研究结果表明,混合气助排剂辅助蒸汽驱的驱油效率比纯蒸汽驱、蒸汽助排剂驱和蒸汽氮气助排剂驱分别高出16.2%、11.0%和8.0%。混合气助排剂综合作用形成的泡沫封堵能力优于其他辅剂。研究区块适用于该技术的临界有效厚度随渗透率的增加而减小,临界渗透率随有效厚度的增大而增加。在确定研究区块地质界限的基础上,通过不同的渗透率和有效厚度组合,得到适合于该区块的注入参数,即混注比、注汽强度和混合气助排剂注入量的优化图版和取值范围。在实际区块进行了2口水平井的成功试验,为该技术在浅薄层稠油油藏的扩展应用提供了借鉴。 展开更多
关键词 浅薄层稠油油藏 蒸汽吞吐 水平井 混合排剂 地质界限
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电子助进化学气相沉积金刚石中发射光谱的空间分布 被引量:1
15
作者 董丽芳 王志军 尚勇 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期15-17,共3页
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/Hz为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s→2p^2:λ=165.7nm)以及CH(A^2△→X^2Ⅱ:λ=420~440m)的发射过程进行了模拟,研究了不同CH4浓度下... 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/Hz为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s→2p^2:λ=165.7nm)以及CH(A^2△→X^2Ⅱ:λ=420~440m)的发射过程进行了模拟,研究了不同CH4浓度下各发射谱线的空间分布。结果表明,不同CH4浓度下各发射谱线在反应空间的大部分区域内均随距灯丝距离的增大而增大,而当到达基片表面附近时有所减弱。随着CH4浓度的增加,H谱线强度减弱,CH与C谱线强度增强。 展开更多
关键词 电子进化学相沉积 金刚石 空间分布 发射光谱
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补气助阳汤对变应性鼻炎模型大鼠TNF-α、NF-kB影响随机平行对照研究 被引量:6
16
作者 张丽艳 孙海波 《实用中医内科杂志》 2016年第12期95-98,共4页
[目的]观测补气助阳汤对过敏性鼻炎模型肿瘤坏死因子-α、核因子-κB细胞因子表达影响。[方法]使用随机平行对照方法,将30只SPF级SD大鼠按随机数字表法随机分为三组,空白对照组(A组),模型对照组(B组),补气助阳汤组(C组),10只/组。使用... [目的]观测补气助阳汤对过敏性鼻炎模型肿瘤坏死因子-α、核因子-κB细胞因子表达影响。[方法]使用随机平行对照方法,将30只SPF级SD大鼠按随机数字表法随机分为三组,空白对照组(A组),模型对照组(B组),补气助阳汤组(C组),10只/组。使用卵蛋白腹腔注射进行致敏,局部鼻黏膜激发的方法复制过敏性鼻炎大鼠模型。除A组外,其余各组大鼠均以卵蛋白溶液给大鼠进行腹腔注射进行致敏,注射剂量为1m L/只,隔日1次,共注射7次。实验第15d,除A组外的其余两组大鼠均以卵蛋白溶液10μL进行滴鼻激发,共11d,每日滴鼻一次。A组大鼠不做任何处理,正常饲养;B组大鼠给予生理盐水从口灌胃,剂量为2m L/只;C组大鼠补气助阳汤中药汤剂经口灌胃,剂量为2m L/只;自激发之日起(实验第15d)开始给药,直至激发结束,共给药11d,1次/d。采用HE染色的方法,观察各组大鼠鼻黏膜病理变化;western-blot法,对各组大鼠鼻黏膜组织中TNF-α、NF-κB的蛋白表达水平进行检测。[结果]与空白对照组比较,其余大鼠鼻黏膜TNF-α、NF-κB含量均显著升高(P<0.01),与模型对照组比较,补气助阳汤组鼻黏膜TNF-α、NF-κB含量有降低(P<0.01)。[结论]补气助阳汤对过敏性鼻炎治疗效果良好,能够抑制患病大鼠鼻黏膜组织内的NF-κB和TNF-α表达水平,发挥了抗过敏作用。 展开更多
关键词 过敏性鼻炎 鼻鼽 过敏性鼻炎大鼠模型 阳汤 NF-κB TNF-Α 苍耳子鼻炎胶囊 实验研究 随机平行对照研究
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参仙益气助阳汤对Graves病患者甲状腺自身抗体水平的影响 被引量:1
17
作者 王峰 康雪敏 《中国药业》 CAS 2011年第12期68-68,共1页
目的研究参仙益气助阳汤对Graves病患者甲状腺球蛋白抗体(TGAb)、甲状腺过氧化物酶抗体(TPOAb)水平的影响。方法将139例血清TGAb和TPOAb阳性的甲状腺功能亢进患者按医院来源不同分成两组,在应用抗甲状腺药物的基础上应用参仙益气助阳汤... 目的研究参仙益气助阳汤对Graves病患者甲状腺球蛋白抗体(TGAb)、甲状腺过氧化物酶抗体(TPOAb)水平的影响。方法将139例血清TGAb和TPOAb阳性的甲状腺功能亢进患者按医院来源不同分成两组,在应用抗甲状腺药物的基础上应用参仙益气助阳汤的治疗组60例,对照组60例不用药物,对比治疗后患者血清TGAb和TPOAb的水平。结果与治疗前比较,治疗组服药5周后TGAb和TPOAb水平即有明显下降,3个月时下降更明显(P<0.01),对照组则无明显下降。结论应用参仙益气助阳汤可有效降低Graves病患者血清中甲状腺自身抗体TGAb和TPOAb水平。 展开更多
关键词 参仙益阳汤 甲状腺球蛋白抗体 甲状腺过氧化物酶抗体
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空心气助注射模塑技术与应用 被引量:1
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作者 贾毅 《塑料科技》 CAS 1997年第1期6-9,共4页
空心气助注射模塑是生产空心模塑制品的一项新技术。
关键词 空心模塑 塑料制品 模具 注塑成型
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电子助进化学气相沉积金刚石中的光发射谱特性
19
作者 王志军 董丽芳 +1 位作者 李盼来 尚勇 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期763-765,共3页
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2∶λ=165.7nm)以及CH(A2Δ→X2Π∶λ=420~440nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化... 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2∶λ=165.7nm)以及CH(A2Δ→X2Π∶λ=420~440nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化,研究了不同反应室气压及衬底温度下的光发射谱特性。结果表明,不同衬底温度下各谱线强度均随气压的增大先增大后减小;当气压较低时,谱线强度随衬底温度的增大而减少,而气压较高时,谱线强度随衬底温度的增大而增大。 展开更多
关键词 电子进化学相沉积 金刚石 蒙特卡罗模拟 发射光谱
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电子助进化学气相沉积金刚石中衬底温度对发射光谱的影响
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作者 王志军 李盼来 +2 位作者 尚勇 贺亚峰 冉俊霞 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1473-1475,共3页
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ和Hγ)、碳原子C(2p3s→2p2:λ=165.7 nm)以及CH(A2Δ→X2Π:λ=420-440 nm)的发射过程进行了模拟,研究了衬底温度对各发射谱... 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ和Hγ)、碳原子C(2p3s→2p2:λ=165.7 nm)以及CH(A2Δ→X2Π:λ=420-440 nm)的发射过程进行了模拟,研究了衬底温度对各发射谱线以及金刚石膜合成的影响。结果得知,各谱线强度随衬底温度的变化幅度很小,且在衬底表面附近的谱线强度随衬底温度的变化幅度相对于远离衬底的反应区域较大,这表明衬底温度的变化基本上不改变远离衬底的反应区域中反应基团成分,而只对衬底表面附近的反应过程有影响。由此得知,衬底温度对薄膜质量的决定性主要是由于衬底温度改变了衬底表面化学反应动力学过程和表面附近的反应基团的缘故,而不是衬底温度对反应空间中气相成分的影响。 展开更多
关键词 电子进化学相沉积 金刚石 蒙特卡罗模拟 发射光谱 衬底温度
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