集成电路的化学品供应系统探讨

集成电路的化学品供应系统为生产线提供高品质化学品,因芯片与化学品直接接触,化学品供应系统的稳定与否影响生产线的正常运行。集成电路的化学品供应系统分为酸碱、有机、研磨液等种类,有槽车和化学桶供应模式,由泵或氮气供应到使用点。主要从设计、安全对策、运行管理等方面探讨了集成电路的化学品供应系统。

电子工厂化学品供应与回收系统概述

本文主要介绍了生产新型显示器件、集成电路芯片等电子工厂中的化学品供应及回收系统的类型、基本构成、主要安全技术措施等,可供系统优化时参考。