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微波化学气相沉积制备氧化铝薄膜及钝化性能研究 被引量:3
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作者 张健 巴德纯 +1 位作者 刘坤 杜广煜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期529-533,共5页
AlO_x薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜层样品,并通过扫描电镜、SE800椭偏仪和WT200... AlO_x薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜层样品,并通过扫描电镜、SE800椭偏仪和WT2000少子寿命测量仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、钝化性能进行分析。实验结果表明,LMW-PECVD制备的AlO_x薄膜沉积速度快且薄膜质量高,适用于大规模企业生产。此外,微波功率和生长温度都对AlO_x薄膜的钝化性能有着显著的影响。 展开更多
关键词 线性微波化学沉积 氧化铝薄膜 少子寿命 微波功率 温度
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常压下用金属有机化学气相沉积法在HP40钢表面制备纳米氧化铝薄膜及表征 被引量:3
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作者 黄志荣 李攀瑜 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期58-60,64,共4页
常压下用金属有机化学气相沉积法(MOCVD),以仲丁醇铝(ATSB)为前驱体、氮气为载气在HP40钢表面制备了纳米氧化铝薄膜;用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影... 常压下用金属有机化学气相沉积法(MOCVD),以仲丁醇铝(ATSB)为前驱体、氮气为载气在HP40钢表面制备了纳米氧化铝薄膜;用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影响,并对其形貌进行了观察。结果表明:随着沉积温度从503K升高到713K,薄膜沉积速率从0.1mg·cm^(-2)·h^(-1)增加到0.82mg·cm^(-2)·h^(-1);当沉积温度在593~653K范围内,可获得晶粒尺寸为10~15nm的纳米氧化铝薄膜;反应的表观活化能随氮气与ATSB蒸气混合气流速增加而降低,不同的混合气流速有不同的反应级数,ATSB的反应级为0.7±0.02。 展开更多
关键词 金属有机化学沉积 氧化铝 沉积速率 纳米薄膜
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阳极氧化铝为模板电化学沉积铜纳米线 被引量:1
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作者 严振升 《科学技术与工程》 北大核心 2012年第23期5850-5853,5861,共5页
研究如何去除阳极氧化铝膜(AAO)纳米孔与铝基之间的阻挡层。介绍了一种氧化铝模板经阶梯降流处理后可以有效去除AAO模板阻挡层的新方法,并以带铝基的氧化铝膜为模板直流电化学沉积制备了线径可控、大小均一的晶态铜纳米线。
关键词 大面积阳极氧化铝模板 阶梯恒电流法 直流电化学沉积 晶态铜纳米线
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物理气相沉积(PVD)制备氧化铝涂层 被引量:4
4
作者 Veith Schier Walter AG 《工具技术》 北大核心 2006年第1期84-85,共2页
关键词 氧化铝涂层 物理沉积 制备 高温稳定性 氧化铝薄膜 化学沉积 化学稳定性 切削刀片 硬质合金 涂层材料
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多孔阳极氧化铝模板法合成纳米线阵列的研究及应用进展 被引量:12
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作者 胡永明 顾豪爽 +1 位作者 陈侃松 郑凯泓 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1072-1076,共5页
综述了以多孔氧化铝为模板 ,采用电化学沉积技术合成金属、半导体、导电聚合物等纳米线材料的最新研究进展 ,阐述了多孔氧化铝模板在合成与组装纳米线材料方面的良好应用前景 。
关键词 多孔阳极氧化铝模板 纳米线 阵列 化学沉积
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大长径比有序多孔阳极氧化铝模板的制备及用于镍纳米线阵列 被引量:9
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作者 张华 胡耀娟 +2 位作者 吴萍 张卉 蔡称心 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1545-1550,共6页
报道一种恒电流二次氧化制备大长径比(>1000)阳极氧化铝(AAO)模板的方法,研究氧化时间和氧化电流密度分别对制备的AAO模板的表面形貌、孔径大小、厚度等的影响.结果表明,AAO模板的表面形貌及厚度n受m氧、厚化度电约流为密2度00及μ氧... 报道一种恒电流二次氧化制备大长径比(>1000)阳极氧化铝(AAO)模板的方法,研究氧化时间和氧化电流密度分别对制备的AAO模板的表面形貌、孔径大小、厚度等的影响.结果表明,AAO模板的表面形貌及厚度n受m氧、厚化度电约流为密2度00及μ氧m、化长时径间比的为影10响0;-当13氧00化的电高流质密量度A为AO8模m板A·.c采m用-2电时化,氧学化沉1积8方h能法在制制备备出的孔A径A为O模15板0-的20孔0中成功制备了Ni纳米线阵列,分别用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)和X射线能量散射光谱(EDS)对其进行了表征;结果显示,制备的Ni纳米线排列整齐有序,每根Ni纳米线直径几乎相同,约150nm,长度约为180-200μm,长径比为1200-1300,与AAO模板的参数一致.研究了Ni纳米线阵列的长径比对其磁性能的影响,发现大长径比的Ni纳米线阵列具有明显的磁各向异性,而长径比约为200的Ni纳米线阵列未表现出明显的磁各向异性.本文结果表明,恒电流二次氧化方法能制备大长径比的AAO模板,并能用于制备大长径比的一维纳米材料阵列,可望在制备具有特殊光学、磁学等性能材料方面得到应用. 展开更多
关键词 阳极氧化铝模板 一维纳米材料 镍纳米线阵列 二次恒电流氧化 化学沉积
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温度与气压对脉冲PECVD沉积氧化铝薄膜的影响 被引量:4
7
作者 胡蝶 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期662-668,共7页
在有机基体表面等离子体增强化学气相沉积(PECVD)Al2O3薄膜是提高其阻隔性能的有效方法,而高品质的Al2O3薄膜是提高阻隔性的关键因素之一。脉冲射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)可以实现比热化学气相沉积技术更宽的气体工作压力... 在有机基体表面等离子体增强化学气相沉积(PECVD)Al2O3薄膜是提高其阻隔性能的有效方法,而高品质的Al2O3薄膜是提高阻隔性的关键因素之一。脉冲射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)可以实现比热化学气相沉积技术更宽的气体工作压力、更多的单体选择和更好的薄膜性能,适合于制备高质量的薄膜。本文报道采用脉冲RF-PECVD氧化铝薄膜,且对影响薄膜结构和性能的工艺参数进行研究。通过椭圆偏振仪测量Al2O3的生长速率和折射率;利用红外光谱、扫描电镜和原子力显微镜对沉积的Al2O3薄膜进行成分、结构、表面粗糙度和形貌分析、测量和表征;采用透湿仪测量在有机聚酯薄膜表面沉积Al2O3层的阻隔性能。结果表明:薄膜沉积过程中的工作气压和沉积温度对脉冲RF-PECVD薄膜性能影响较大,在一定的沉积温度范围内,沉积的Al2O3薄膜为无色、透明、表面结构平滑致密;在温度相同的条件下,工作气压越高,纳米膜生长速率越快;而在相同工作气压下,沉积温度越低,薄膜生长速率越快。 展开更多
关键词 脉冲等离子体辅助化学沉积 氧化铝 工作压和沉积温度 水蒸汽透过率
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Y型沸石为模板化学气相沉积法制备模板碳的研究 被引量:1
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作者 李岩松 赵宏伟 +3 位作者 李艳梅 陈美妤 李莉香 安百钢 《辽宁科技大学学报》 CAS 2019年第2期107-110,137,共5页
具有定制尺寸均匀孔径的纳米碳可以将多孔结构优化到理想性能。本文采用一步化学气相沉积法,Y型沸石分子筛为模板,乙炔为碳源,通过控制化学气相沉积温度,制备了具有有序孔结构的沸石模板碳。研究表明,化学气相沉积温度在700℃时,ZTC-70... 具有定制尺寸均匀孔径的纳米碳可以将多孔结构优化到理想性能。本文采用一步化学气相沉积法,Y型沸石分子筛为模板,乙炔为碳源,通过控制化学气相沉积温度,制备了具有有序孔结构的沸石模板碳。研究表明,化学气相沉积温度在700℃时,ZTC-700展现出良好的有序孔结构、比表面积高达2 500 m2·g-1和孔容量达1.32 cm3·g-1,归因于ZTC-700具有质量分数高达17.7%的碳沉积量,支撑沸石内的有序孔道结构,展现出最佳孔结构特性。 展开更多
关键词 化学沉积 Y型沸石 沸石模板 有序孔结构
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化学气相沉积法制备和修复X射线管旋转阳极靶面材料 被引量:3
9
作者 颜彬游 吕延伟 +1 位作者 宋久鹏 李剑 《真空电子技术》 2016年第1期1-4,共4页
X射线管旋转阳极是医疗诊断领域的重要部件之一,本研究采用钨的化学气相沉积(CVD)工艺制备旋转阳极的靶面材料,与传统粉末冶金工艺相比,CVD工艺制备的靶面钨及钨合金材料具有高纯、全致密、高热导率的特点,同时该工艺可以对报废的靶面... X射线管旋转阳极是医疗诊断领域的重要部件之一,本研究采用钨的化学气相沉积(CVD)工艺制备旋转阳极的靶面材料,与传统粉末冶金工艺相比,CVD工艺制备的靶面钨及钨合金材料具有高纯、全致密、高热导率的特点,同时该工艺可以对报废的靶面材料的进行修复,实现旋转阳极部件的再制造。 展开更多
关键词 X射线管 旋转阳极 化学沉积
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微波等离子体辅助化学气相沉积法低温合成定向碳纳米管阵列 被引量:19
10
作者 陈新 胡征 +4 位作者 王喜章 吴强 陈懿 杨绍光 都有为 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期731-733,共3页
Well aligned nanotubes with diameter of 30—50 nm have been synthesized on a porous alumina template by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MW PECVD). By this means, the control over either diameter o... Well aligned nanotubes with diameter of 30—50 nm have been synthesized on a porous alumina template by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MW PECVD). By this means, the control over either diameter or length of the nanotubes could be realized. The hollow structure and vertically aligned features have been verified by scanning electron and transmission electron microscopic images. In comparison with the reported fabrication methods, lower synthesis temperature (below 520 ℃) and simpler process (no negative dc bias applied) have been achieved, which could be of great importance for both theoretical research and pratical applications. 展开更多
关键词 碳纳米管阵列 微波等离子体 化学沉积 低温合成 孔性氧化铝模板
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氧化铝模板法制备Ge纳米线 被引量:9
11
作者 叶好华 叶志镇 +4 位作者 黄靖云 吴贵斌 赵炳辉 涂江平 侯山昆 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期173-176,共4页
采用氧化铝模板法结合具有高真空背景的低压化学气相沉积技术制备出 Ge纳米线 .在氧化铝模板的背面喷金作为催化剂 ,合成了 Ge纳米线 .采用原子力显微镜、X射线衍射、透射电镜、能量散射谱等手段对 Ge纳米线进行了分析 .Ge纳米线的直径... 采用氧化铝模板法结合具有高真空背景的低压化学气相沉积技术制备出 Ge纳米线 .在氧化铝模板的背面喷金作为催化剂 ,合成了 Ge纳米线 .采用原子力显微镜、X射线衍射、透射电镜、能量散射谱等手段对 Ge纳米线进行了分析 .Ge纳米线的直径约为 30 nm,长度超过 6 0 0 nm.对 Ge纳米线的生长机理进行了探讨 . 展开更多
关键词 Ge纳米线 氧化铝模板 低压化学沉积
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化学气相沉积法催化合成尺寸可控的碳微球 被引量:4
12
作者 陈磊山 王存景 陈改荣 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期135-136,共2页
本研究采用化学气相沉积法,以氢氧化铝为载体负载铁为催化剂,通过催化裂解乙炔合成了碳微球,并详细探讨了催化剂以及碳微球的沉积区域对所合成的碳微球的直径的影响,通过场发射扫描电镜、能谱分析、高分辨投射电镜对产物形貌和超微观结... 本研究采用化学气相沉积法,以氢氧化铝为载体负载铁为催化剂,通过催化裂解乙炔合成了碳微球,并详细探讨了催化剂以及碳微球的沉积区域对所合成的碳微球的直径的影响,通过场发射扫描电镜、能谱分析、高分辨投射电镜对产物形貌和超微观结构进行了表征和分析。结果显示,催化剂和沉积区域在某种程度上对碳微球的直径起到了一定的控制作用。 展开更多
关键词 化学沉积 碳微球 氧化铝载体
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用等离子化学气相沉积工艺制备Al_2O_3薄膜 被引量:4
13
作者 赵玉文 Suhr,H 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期102-106,共5页
以乙酰丙酮铝Al(acac)_3为前驱体用等离子化学气相沉积工艺在玻璃、石英、Si(100)和Ni等底材上沉积出了Al_2O_3薄膜。所获得的沉积膜或者无碳、透明、致密(平均3.8g·cm ̄(-3)),或为透明致... 以乙酰丙酮铝Al(acac)_3为前驱体用等离子化学气相沉积工艺在玻璃、石英、Si(100)和Ni等底材上沉积出了Al_2O_3薄膜。所获得的沉积膜或者无碳、透明、致密(平均3.8g·cm ̄(-3)),或为透明致密的硬质(硬度H_K达2370)涂层。研究了各种实验参数对沉积速率、薄膜组成及膜层硬度的影响,认为偏压是最具影响的参数。 展开更多
关键词 氧化铝 薄膜 等离子 化学沉积
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Al_2O_3担载Fe化学气相沉积法合成石墨烯
14
作者 陈磊山 王存景 +1 位作者 苗郁 陈改荣 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2013年第3期92-95,共4页
Al2O3担载Fe作催化剂化学气相沉积法400℃下催化裂解乙炔进行反应,反应气氛分别为氢气和氩气,产物通过60℃下36%的浓盐酸中回流进行提纯.样品通过扫描电子显微镜和高分辨透射电子显微镜进行了表征.结果表明:当反应气氛为氢气时可以一次... Al2O3担载Fe作催化剂化学气相沉积法400℃下催化裂解乙炔进行反应,反应气氛分别为氢气和氩气,产物通过60℃下36%的浓盐酸中回流进行提纯.样品通过扫描电子显微镜和高分辨透射电子显微镜进行了表征.结果表明:当反应气氛为氢气时可以一次性制备均匀性很好的薄膜,其厚度约为3~15nm,层数约8~20层,薄膜之间相互交连在一起,表面有很多褶皱,为典型的石墨烯纳米片的结构;当反应气氛为氩气时,石墨烯纳米片则变成了副产物. 展开更多
关键词 氧化铝 化学沉积 石墨烯 乙炔
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静电辅助气溶胶化学气相沉积法制备Al_2O_3薄膜
15
作者 王耀华 贺琦 +1 位作者 李成明 吕反修 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期65-67,75,共4页
以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明:采用ES... 以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明:采用ESAVD法制备的Al2O3薄膜平整致密而且晶粒细小,薄膜与基体之间及薄膜内部都未出现开裂现象;薄膜与基体的结合力约为5.56 N;沉积得到的薄膜为化学计量比为2∶3的氧化物薄膜;退火前的薄膜为非晶态,在1 200℃退火保温2 h后薄膜转变为-αAl2O3。 展开更多
关键词 静电辅助溶胶化学沉积 氧化铝 薄膜
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线性微波化学气相沉积制备AlO_x/SiN_x双层薄膜及钝化性能的研究
16
作者 张健 巴德纯 +1 位作者 张振厚 赵崇凌 《真空》 CAS 2016年第3期7-11,共5页
通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlO_x/SiN_x双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高... 通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlO_x/SiN_x双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高质量的AlO_x薄膜和SiN_x薄膜,AlO_x薄膜生长速度达到了180nm/min,SiN_x薄膜生长速度达到了135nm/min;经过AlO_x/SiN_x双层薄膜钝化的P型单晶硅有效少子寿命达到了2300μs,且经过800℃产线烧结工序,少子寿命下降幅度很低,热稳定性优异。 展开更多
关键词 线性微波化学沉积 氧化铝薄膜 氮化硅薄膜 有效少子寿命
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利用气相沉积法在模板中制备TiO2纳米管的研究 被引量:5
17
作者 张亚男 陈淼 +1 位作者 梁山 刘志鲁 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第3期50-53,104,共5页
以四氯化钛(TiCl4)为原料,利用自行设计的气相沉积装置在多孔氧化铝模板中成功制备了TiO2纳米管.SEM,TEM结果表明得到的纳米管很好地保持了模板的一维取向,表面光滑,结构均匀.该方法可让原料气体完全地通过模板,使其充分在孔洞中沉积,... 以四氯化钛(TiCl4)为原料,利用自行设计的气相沉积装置在多孔氧化铝模板中成功制备了TiO2纳米管.SEM,TEM结果表明得到的纳米管很好地保持了模板的一维取向,表面光滑,结构均匀.该方法可让原料气体完全地通过模板,使其充分在孔洞中沉积,因此为模板法制备纳米管提供了一种简便的途径. 展开更多
关键词 四氯化钛 沉积 多孔阳极氧化铝模板 TIO2纳米管
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化学气相沉积制备泡沫石墨烯超级电容器电极研究进展 被引量:1
18
作者 王钊 岳红彦 +3 位作者 俞泽民 高鑫 姚龙辉 王宝 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期33-35,37,共4页
综述了以不同模板为导向,化学气相沉积制备高质量泡沫石墨烯的最新研究进展,并阐述了其在超级电容器领域的应用前景和挑战。
关键词 泡沫石墨烯 化学沉积 模板 超级电容器
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Al_2O_3 化学气相沉积工艺研究 被引量:2
19
作者 李云贵 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期477-480,共4页
采用AlCl3H2CO2化学气相沉积(CVD)系统,在不同CVD工艺条件下,氧化铝被沉积在预涂层TiC的316LSS、石墨和钼基体上。氧化铝涂层经SEMXray和电子能谱分析表明:该涂层为正化学计量致密Al2O... 采用AlCl3H2CO2化学气相沉积(CVD)系统,在不同CVD工艺条件下,氧化铝被沉积在预涂层TiC的316LSS、石墨和钼基体上。氧化铝涂层经SEMXray和电子能谱分析表明:该涂层为正化学计量致密Al2O3。工艺研究表明:温度升高使Al2O3沉积速率迅速增加;AlCl3浓度达2%左右,沉积速率增加缓慢;CO2浓度小于10%时,沉积速率迅速下降。 展开更多
关键词 沉积速率 化学沉积 化学计量 薄膜 氧化铝
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化学气相沉积法制备新型有序大孔碳球及其表征 被引量:3
20
作者 孙慧 李石 《化学与生物工程》 CAS 2018年第9期22-24,29,共4页
以二氧化硅(SiO_2)胶体微球为模板,以苯蒸气为碳源,采用胶晶模板法和化学气相沉积法,将苯蒸气在高温下碳化并沉积在SiO_2胶晶模板表面,通过氢氟酸的溶蚀作用去除SiO_2胶晶模板,制备了新型有序大孔碳球;通过场发射扫描电子显微镜、透射... 以二氧化硅(SiO_2)胶体微球为模板,以苯蒸气为碳源,采用胶晶模板法和化学气相沉积法,将苯蒸气在高温下碳化并沉积在SiO_2胶晶模板表面,通过氢氟酸的溶蚀作用去除SiO_2胶晶模板,制备了新型有序大孔碳球;通过场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜、X-射线衍射仪和物理吸附仪等对样品结构进行了表征。结果表明,当苯蒸气沉积时间为4h时,大孔碳球结构完整、排列有序,为石墨晶型。该研究为碳材料在生物医药领域的应用研究提供了新的思路和参考。 展开更多
关键词 胶晶模板 化学沉积 苯蒸 大孔碳球
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