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先进的CMP保持环及晶圆处理设备技术
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《化工文摘》 2005年第2期60-60,共1页
VICTREX PEEK由于具有耐受极端环境的能力,因此在要求出色均衡性能的半导体市场中得到了广泛的认同。
关键词 聚合物 使用寿命 真空输送系统 微量元素 化学电镀设备
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