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先进的CMP保持环及晶圆处理设备技术
1
《化工文摘》
2005年第2期60-60,共1页
VICTREX PEEK由于具有耐受极端环境的能力,因此在要求出色均衡性能的半导体市场中得到了广泛的认同。
关键词
聚合物
使用寿命
真空输送系统
微量元素
化学电镀设备
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职称材料
题名
先进的CMP保持环及晶圆处理设备技术
1
出处
《化工文摘》
2005年第2期60-60,共1页
文摘
VICTREX PEEK由于具有耐受极端环境的能力,因此在要求出色均衡性能的半导体市场中得到了广泛的认同。
关键词
聚合物
使用寿命
真空输送系统
微量元素
化学电镀设备
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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1
先进的CMP保持环及晶圆处理设备技术
《化工文摘》
2005
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