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二氧化硅薄膜的生产研究
1
《硅铝化合物》
2002年第2期34-34,共1页
关键词
二氧化硅薄膜
德国
Fraunhofer太阳能系统研究院
等离子增强
化学蒸发沉淀
CVD
下载PDF
职称材料
二氧化硅薄膜的生产研究(德国)
2
《有机硅氟资讯》
2002年第8期16-16,共1页
关键词
二氧化硅薄膜
研究
德国
Fraunhofer太阳能系统研究院
等离子增强
化学蒸发沉淀
CVD
氮化硅薄膜
下载PDF
职称材料
题名
二氧化硅薄膜的生产研究
1
出处
《硅铝化合物》
2002年第2期34-34,共1页
关键词
二氧化硅薄膜
德国
Fraunhofer太阳能系统研究院
等离子增强
化学蒸发沉淀
CVD
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
二氧化硅薄膜的生产研究(德国)
2
出处
《有机硅氟资讯》
2002年第8期16-16,共1页
关键词
二氧化硅薄膜
研究
德国
Fraunhofer太阳能系统研究院
等离子增强
化学蒸发沉淀
CVD
氮化硅薄膜
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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职称材料
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作者
出处
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1
二氧化硅薄膜的生产研究
《硅铝化合物》
2002
0
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职称材料
2
二氧化硅薄膜的生产研究(德国)
《有机硅氟资讯》
2002
0
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职称材料
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