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低压化学蒸汽淀积选择性能钨设备
1
作者
王焕杰
陈振昌
《电子与自动化》
1990年第5期18-21,共4页
关键词
化学蒸汽淀积
钨设备
硅片
淀
积
钨
下载PDF
职称材料
化学蒸汽淀积金刚石薄膜开辟新领域
2
作者
尹宪华
《国外激光》
CSCD
1989年第10期20-21,共2页
金刚石作为宝石人人皆知,工业界把金刚石用作钻石切削、研磨和抛光材料。光学工业采用单点金刚石切削制造超精密光学表面。
关键词
人工合成
金刚石薄膜
化学蒸汽淀积
原文传递
红外材料的生产与发展
被引量:
1
3
作者
顾聚兴
《红外》
CAS
1991年第3期22-25,共4页
关键词
红外光学材料
化学蒸汽淀积
下载PDF
职称材料
电子用三甲基硅烷(美国Dow Corning)
4
《有机硅氟资讯》
2002年第1期31-31,共1页
关键词
美国Dow
Corning公司
推出
半导体级
三甲基硅烷
用途
薄膜电介质
化学蒸汽淀积
硅来源气体
下载PDF
职称材料
题名
低压化学蒸汽淀积选择性能钨设备
1
作者
王焕杰
陈振昌
出处
《电子与自动化》
1990年第5期18-21,共4页
关键词
化学蒸汽淀积
钨设备
硅片
淀
积
钨
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
化学蒸汽淀积金刚石薄膜开辟新领域
2
作者
尹宪华
出处
《国外激光》
CSCD
1989年第10期20-21,共2页
文摘
金刚石作为宝石人人皆知,工业界把金刚石用作钻石切削、研磨和抛光材料。光学工业采用单点金刚石切削制造超精密光学表面。
关键词
人工合成
金刚石薄膜
化学蒸汽淀积
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
原文传递
题名
红外材料的生产与发展
被引量:
1
3
作者
顾聚兴
出处
《红外》
CAS
1991年第3期22-25,共4页
关键词
红外光学材料
化学蒸汽淀积
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
电子用三甲基硅烷(美国Dow Corning)
4
出处
《有机硅氟资讯》
2002年第1期31-31,共1页
关键词
美国Dow
Corning公司
推出
半导体级
三甲基硅烷
用途
薄膜电介质
化学蒸汽淀积
硅来源气体
分类号
TQ264.11 [化学工程—有机化工]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
低压化学蒸汽淀积选择性能钨设备
王焕杰
陈振昌
《电子与自动化》
1990
0
下载PDF
职称材料
2
化学蒸汽淀积金刚石薄膜开辟新领域
尹宪华
《国外激光》
CSCD
1989
0
原文传递
3
红外材料的生产与发展
顾聚兴
《红外》
CAS
1991
1
下载PDF
职称材料
4
电子用三甲基硅烷(美国Dow Corning)
《有机硅氟资讯》
2002
0
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职称材料
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