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低压化学蒸汽淀积选择性能钨设备
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作者 王焕杰 陈振昌 《电子与自动化》 1990年第5期18-21,共4页
关键词 化学蒸汽淀积 钨设备 硅片
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化学蒸汽淀积金刚石薄膜开辟新领域
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作者 尹宪华 《国外激光》 CSCD 1989年第10期20-21,共2页
金刚石作为宝石人人皆知,工业界把金刚石用作钻石切削、研磨和抛光材料。光学工业采用单点金刚石切削制造超精密光学表面。
关键词 人工合成 金刚石薄膜 化学蒸汽淀积
原文传递
红外材料的生产与发展 被引量:1
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作者 顾聚兴 《红外》 CAS 1991年第3期22-25,共4页
关键词 红外光学材料 化学蒸汽淀积
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电子用三甲基硅烷(美国Dow Corning)
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《有机硅氟资讯》 2002年第1期31-31,共1页
关键词 美国Dow Corning公司 推出 半导体级 三甲基硅烷 用途 薄膜电介质 化学蒸汽淀积 硅来源气体
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