AMC对微电子制程存在潜在严重危害并会导致成品率降低。将传统检测方法和Gigacheck或Gigamonitor相结合,会得到更多的AMC信息。化学过滤器是去除AMC的有效手段,评价化学过滤器的指标不仅要考察吸附效率、吸附容量等指标,还必须对化学过...AMC对微电子制程存在潜在严重危害并会导致成品率降低。将传统检测方法和Gigacheck或Gigamonitor相结合,会得到更多的AMC信息。化学过滤器是去除AMC的有效手段,评价化学过滤器的指标不仅要考察吸附效率、吸附容量等指标,还必须对化学过滤器整体进行测试,从而能够提供对特定的A M C有很强针对性和突出去除效果的化学过滤解决方案。展开更多
文摘AMC对微电子制程存在潜在严重危害并会导致成品率降低。将传统检测方法和Gigacheck或Gigamonitor相结合,会得到更多的AMC信息。化学过滤器是去除AMC的有效手段,评价化学过滤器的指标不仅要考察吸附效率、吸附容量等指标,还必须对化学过滤器整体进行测试,从而能够提供对特定的A M C有很强针对性和突出去除效果的化学过滤解决方案。