半导体厂净化空调空气分子污染监测与控制

探讨空气中的化学分子对半导体或液晶产品的潜在影响,空气分子污染降低了产品良率。阐述空气中化学分子的种类及来源,并对如何处理与监控进行了分析,可为新建半导体厂提供案例参考。