CMP加工中的真空吸盘区域压力控制技术

目前半导体制造技术已经进入0.13μm时代,化学机械抛光(CMP)已经成为IC制造中不可缺少的技术。根据下一代IC对大尺寸硅片(≥300mm)面型精度和表面完整性的要求,分析了CMP(化学机械抛光)加工中大尺寸硅片夹持的关键之一—区域压力控制技术穴ZoneBackPressureControl雪,介绍了采用区域压力控制技术的必要性和理论基础,以及国内外研究现状和最新进展,并指出了该技术存在的问题与发展趋势。

区域水资源压力指数与水资源安全评价指标体系

本文讨论和分析水资源安全的含义、水资源压力指数和水资源安全评价指标,建立水资源安全评价指标体系。水资源安全指"以可承受的价格获取足够安全的水"。国际上常用人均水资源量和水资源开发利用程度两个指标反映人类对水及水相关生态的压力。但由于水资源安全是很综合的概念,包含很丰富的内涵,单用一两个水资源压力指标难以反映其内容,因此有必要建立水资源安全评价指标体系。

基于公交IC卡数据的区域公交压力指数研究

公共交通系统在运行中产生的IC卡刷卡及车辆运行GPS数据为量化描述区域公交系统的压力提供了数据支持。基于公交系统在运行中产生的大量的GPS数据和IC卡刷卡数据,选取了包括满载率、停靠时间、单位时间内的进、出站量和地铁剩余运能等压力模型的评价指标,基于加权平均理论建立了地面公交及地铁压力指数模型;根据公交及地铁站点的等级及登降量因素提出了不同类型站点的权重系数阈值;取地面公交和地铁站压力均值建立了区域公交运行压力模型,并划分了压力分级体系。最后以北京市的国贸和东单区域为例进行了压力指数的计算,分析了两区域压力指数差异的时间及空间原因,并提取2个区域的实际公交登降量数据对压力指数进行了验证,证明该压力指数模型能够有效反映公交系统的运行压力。

基于区域地层压力描述的东坪区块井身结构优化

东坪区块是青海油田近年来开发的重点区块,由于地质条件复杂和前期对该区块地层压力认识不清,因此井身结构设计存在缺陷,钻井过程中频繁出现漏、喷、塌、卡、断等各种井下复杂情况和事故。针对目前东坪区块地层压力认识不清的问题,首先收集区块内已钻井的测井等资料,利用Eaton法建立已钻井的单井地层压力剖面;然后基于地质统计学和克里金插值法,将地层压力以地层层组为单元外延展开,从而实现地层压力的区域化描述;最后根据区域地层压力的预测结果,对区块内待钻井进行井身结构优化。研究结果为青海油田东坪区块井身结构优化及钻井液密度精细化设计提供了依据,可以有效降低钻井复杂事故的发生频率,对于安全钻井具有重要意义。

利用已钻井资料构建区域地层压力剖面的方法

地层压力是油气钻探和开发过程中钻井工程设计与施工的基础数据。针对新探区地层压力预测问题,提出地层压力矩阵的概念,在有效应力理论和Eaton方法计算地层孔隙压力的基础上,给出地层孔隙压力矩阵的构建方法,通过地层压力矩阵可以得到地层压力曲线或含不确定信息的地层压力剖面。在地层压力矩阵的基础上,利用深度平差方法和反距离加权算法,建立计算同构造区域内待钻井地层压力的外延移植算法。某构造区域内的井筒资料计算表明:由该方法得到的待钻井地层孔隙压力值与该井完井后利用测井资料计算的压力值最大相对误差为3.43%;邻井地层压力资料、邻井空间位置和目标区域空间连续性是影响地层压力外延移植方法计算精度的关键因素;对于存在断层或者地质构造比较复杂的地区,需要充分掌握地质构造特性并借助地震资料分构造、分区块建立目标井的地层压力。

浅谈压力集中区域全煤锚网支护技术

范各庄矿为国有大型煤矿,该矿井南北向发育大型F0断层,断层附近应力集中且煤岩层破碎,给生产带来了极大的困扰。2529N工作面处于F0断层附近,受断层影响,附近隐伏小断层、火成岩等构造发育对掘进巷道支护势必造成很大的影响。另外本工作面同层斜上方煤层已经回采完毕,且上覆9煤层已经回采完毕,造成本工作面巷道处于压力集中区域,巷道支护困难。而且本工作面煤层整体厚度6.6 m左右,掘进施工时为托煤顶施工。在巷道掘进时,采用高强锚杆、高强锚索,初步定为0.6 m排距,锚索加密支护,为防止护帮,在受回采影响区域加打帮锚索。巷道掘进初期,对顶板监测加密测点,及时发现变形规律,对变形量超标地段,采取相应措施,加强支护,防止顶板事故。

注水开发油田地层压力评价中的问题分析

从矿场实际出发 ,系统地分析了注水开发油田动态监测过程中所取得的压力资料 ,在油田开发应用中存在的主要问题及井数加权法难以正确反映油藏实际压力水平的原因。提出了考虑油水井井数比、流动系数 ,孔隙体积、综合油水井压力资料评价注采系统压力水平的方法。同时指出 ,不同的开发阶段应采用不同的地层压力计算方法和地层压力评价方法 。

区域协调发展的动态耦合演进分——以江苏省为例

区域发展是一个复杂的自适应系统，其构成要素及运行环境按照一定的方式实现状态之间的不断转移，表征出一定的发展轨迹和趋势。在分析区域支撑能力与区域压力之间交互耦合关系的基础上，借助于系统科学理论建立了区域协调发展的动态耦合演进模型。并通过耦合度的大小，划分了区域发展耦合演进阶段。并以江苏省为例进行了实证分析，结果表明：1990年-2005年江苏省区域支撑能力与压力水平均呈上升态势；江苏省区域支撑能力和区域压力的演进速度表现出显著的差异，其中区域支撑能力的演进速度呈现不断下降的态势，而区域压力子系统的演进速度则呈逐年快速上升的态势；在选取的研究时段内，江苏省区域发展的耦合度呈快速增长的态势，由1990年的22.37°增长到了2005年的76.05°，根据区域发展耦合演进阶段的划分，江苏省区域发展的耦合状态经历了由区域可持续发展阶段过度到区域不可持续发展阶段，如不加以控制可能进入极限增长阶段。

基于离散-连续耦合方法的隧道压力拱特性研究

隧道压力拱问题一直是隧道工程研究的关键问题,目前常用的连续介质数值模拟方法对于隧道压力拱特性的微观研究有所欠缺,而擅长微观力学研究的离散元数值模拟方法对计算机存储空间和计算时间的要求太高。基于现有离散-连续耦合思路,通过力的传递实现离散-连续模型的耦合;研究了耦合算法中的平均应力计算方法、平均应力计算区域面积及耦合程序遍历颗粒方法;基于自行开发优化的离散-连续耦合程序,模拟了隧道开挖后的围岩受力特性,研究了隧道压力拱形成机理及压力拱特性;计算了埋深分别为10 m,14 m,18 m,22 m,26 m,30 m和34 m情况下的隧道开挖产生的压力拱应力集中等效区域,揭示了隧道压力拱随着隧道埋深的变化规律。研究结果表明,自行开发优化的离散-连续耦合程序能在保证计算精度的前提下,充分发挥离散元方法在微观力学研究方面的优势;隧道开挖后,开挖面周边范围出现层状压力环,但在拱顶和仰拱底附近区域的围岩压力环的环间接触力降低,围岩承载能力急剧降低,形成压力拱;随着隧道埋深的增加,隧道压力拱应力集中等效区域减小,隧道周边围岩的压力拱承载能力越来越大;但当隧道埋深达到一定界限后,隧道压力拱高度趋于稳定。

唐山矿深部孤岛工作面冲击地压危险区域划分及实测研究

以开滦集团唐山矿复杂地质条件为研究对象,针对深部不规则大孤岛工作面的冲击地压发生机理、冲击地压的合理预测和冲击地压的有效防治等问题开展研究,通过全面研究、观测、分析,确定了T1391孤岛工作面冲击地压危险区域,通过采取相关措施保障了T1391孤岛工作面实现高效安全开采。

高应力区域下分层煤巷异形式加固效果对比

公司现状是按全层放顶煤设计的2503综采放顶煤工作面上下顺槽、3105综放工作面上顺槽和2124综放工作面上顺槽掘进工程量已全部施工完毕,3103综放工作面已回采40m。按公司的决定,上述工作面需要改变回采工艺,先进行上分层开采,再进行沿底板放顶煤开采。为在顶层工作面回采期间对底层已掘巷道进行保护,2124下顺槽在21241顶分层回采前分别采用了井型木垛、木点柱、金属树脂锚杆锚索三种加固形式进行了分段加固,分别取得了不同的效果。

MEMS中基底和薄膜的CMP制造技术

化学机械抛光(Chemical&Mechanical Polishing,CMP)工艺已运用于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)中,并逐渐成为研制高品质微纳器件不可或缺的一道关键技术。区域压力调整、抛光终点检测等技术已经引入到CMP工艺,确保片内不均匀性(Within-wafer Nonuniformity,WIWNU)小于5%,同时有效减小"蝶形"和"腐蚀"等抛光缺陷。CMP在MEMS领域中的运用工艺过程更为复杂,抛光对象更为多元,表面质量要求更高。结合硅、介质层、石英、锗、铂和聚合物等自行开发的CMP工艺以及抛光后清洗处理,详细讨论和阐述CMP工艺如何运用于MEMS领域。实验结果表明,采用CMP工艺,结合抛光液改进和兆声清洗,不仅可以实现薄膜的全局平坦化,而且可以获得高品质的超薄基底、无损的硬质应变薄膜和用于低温直接键合的表面粗糙度小于0.5nm键合表面。CMP技术是研制高品质的可应用于MEMS器件的基底和薄膜的有效手段。

450 mm晶圆CMP设备技术现状与展望

分析化学机械平坦化(CMP)耗材发展现状及趋势,推断450 mm晶圆的CMP设备及技术的迫切性;在此基础上,展望450 mm晶圆将会采用系统集成技术、多区域压力控制承载器技术、抛光垫修整技术、终点检测技术、后清洗技术,并初步分析以上这些技术的特点。最后指出随着晶圆制造厂激烈竞争和持续投资,对450 mm的CMP设备要求必有所突破。

CMP加工过程中均匀去除率的研究

半导体制造技术已经达到了亚微米技术水平,CMP(chemical mechanical planarization)化学机械抛光是IC制造工艺中进行全局平坦化唯一的途径,分析了针对大直径晶圆进行全局平坦化,达到面型精度和表面完整性的要求而采取的区域压力控制技术。

海上气田立管段塞流缓解方法数值模拟研究

立管段塞流是一种严重影响海洋油气安全输送与处理的混输管道常见流型。针对海管气液混输工况下立管段塞流缓解措施展开研究,采用多相流动态数值模拟方法,建立了某深海气田混输管道动态多相流模型,模拟复现了现场严重段塞流现象,并通过参数控制方法计算分析了输量、登平台压力、海管内径等控制条件对段塞流的缓解效果的影响。研究结果表明,输量及内径的调整可有效缓解段塞流,并随着调整范围扩大形成比较明显的立管底部压力拐点区域,其中输量临界区域约47×10^(4)m^(3)/d,内径临界区域101.6~152.4 mm,当接近并跨越该区域时,立管段塞流程度得到有效缓解甚至消除;登平台压力的调整,在该混输工况下无明显立管段塞流减缓效果,为现场生产缓解立管段塞流提供可行的研究思路与操作参考。

考虑非达西流的低渗透油藏水力压裂优化研究

建立充分考虑低渗透油藏渗流特征以及压裂井导流能力失效性的数学模型,并在原有黑油模拟器的基础上,实现该模型的数值求解。以井生产时所诱发的压力波为基础,基于渤海湾某低渗透油田实际数据,从极限波及区域的角度对水力压裂进行优化研究。结果表明:压裂后波及区域的增加是单井增产的主要原因;发生井间干扰时,干扰部位的极限波及区域形态可以比较直观地反映井网控制程度及剩余油分布情况;可以根据注水井和采油井在投产后压力波及系数变化开始减缓时的波及区域,确定压裂注采井的合理井距,当注采井连线与裂缝方向的夹角大于70°时,井组系统和裂缝系统的匹配性最优。

区域环境治理压力、经济发展水平与碳中和绩效

研究目标:研究中国30个省份环境治理压力、经济发展水平以及两者的协同效应对碳中和绩效的影响机理。研究方法:在固定效应模型与面板门槛模型的分析框架下,探讨碳中和绩效的线性和非线性变化特征,运用事件研究法借助双重差分模型研究碳减排政策的动态效应。研究发现:基准线性回归中区域环境治理压力、经济发展水平的独立效应阻滞碳中和绩效,但二者的协同效应显著提升碳中和绩效;囿于碳中和绩效可能呈现非线性的变化趋势,分别以三者为门槛变量进行检验发现,区域环境治理压力、经济发展水平作为门槛变量时不存在门槛效应,两者的协同效应为门槛变量时,协同效应对碳中和绩效具有非线性的促进作用;进一步研究表明,碳减排政策显著提高了试点地区的碳中和绩效,但政策的动态效应存在时滞性;东部、中部和西部地区碳中和绩效实现路径存在显著差异。研究创新:将区域环境治理压力、经济发展水平以及两者的协同效应纳入碳中和绩效分析框架,丰富了新时期双碳目标研究主题;从能源供给侧视阈下深入探究全国及东部、中部、西部地区碳中和绩效的区域差异和动态演进特征,揭示了碳中和绩效的不同发展轨迹。研究价值:据此,中央和地方政府应根据碳中和绩效发展历程因时施策,为构建全球碳秩序贡献中国智慧与中国方案。

旗形整理后的加速起涨点

当股价进入主升行情时,往往意味着较为强劲的上涨势头,这时的惯性效应也会体现的较为完美,就是说股价短时间内会一直维持快速的单边性上涨。但在很多时候,上涨并非是一帆风顺的,会遭遇不同价格区间的阻力干扰,由此会对股价的进一步上扬造成很大障碍,尤其是当走势面临于历史成交密集区,并以平台整理的方式展现时其消化的难度可能更大,这就需要通过不断接触平台区域压力的办法来逐渐消化解套盘的压力,达到最终突破目的。

大庆油田套损井综合管理平台的构建

大庆油田开发50多年来,不断产生套损井和重复套损井,成片套损区数量增大。截至2013年8月,累计有套损井1万余口,且每年新增套损井1千余口,大量套损井的存在严重影响油田正常生产。套损类型、套损程度和不同套损井区块的地质条件异常复杂,增加了套损分析的难度。为了强化油田套损井管理,有效分析套损成因、预测区块套损趋势,指导油田套损井防护和套损区块预警,提升油田套损井综合治理的针对性,利用地理信息技术(GIS),依托大庆油田最新井位图,把各采油厂的套损数据库组织起来,实施一体化管理,建立套损井分析评价平台,完成大庆油田套损井的整体布局,实现油田套损井和套损区域的动态分析、监督和管理,科学识别地下压力异常区域,完成油田采油厂、钻井、修井等系统的联动和集成,在套损井、地下异常区域和套损层位之间建立多维、多角度和多方位的关联,满足多单位对地下复杂情况认识和施工的需求,更好地适应油田长远发展的要求。

大庆油田套损井评价技术研究

依托套损井综合管理平台,经过长期探索和技术实践,建立了油田相应的套损井分析模式,从工程服务的视野,结合异常井信息,对油田套损井和成片套损区域,从历史、构造、开发经历、时空和井网等进行分析,探索套损井产生的根源。对油田套损井预防和管理提出建议,达到减少新增套损井和重复套损的目的,适应油田长远发展对套损井管理的要求。