TDG-28型大直径区熔单晶炉

TDG-28型大直径区熔单晶炉集精密加工、高频、真空、自动控制等技术于一体,是我国第一台带有晶体夹持机构、完全国产化的区熔装置。本文着重介绍TDG-28型大直径区熔单晶炉的主要技术指标和性能特点。一、主要技术指标为了便于比较,我们将丹麦托普索公司1980年设计的FZ-14型区熔炉及美国西方技术公司70年代末研制的145型区熔炉的有关技术指标列于表1。