十字型CMOS集成霍尔传感器的简化仿真模型

文中提出了一种工作在低磁场条件下的十字型CMOS集成霍尔传感器的简化仿真模型。该模型结构简单,由1个包含电阻、电流控制电压源和电容的无源网络构成。该模型全面考虑了几何、温度和封装应力等因素带来的影响,由模拟硬件描述语言Verilog_A来实现,已成功在Cadence的Spectre仿真器上完成了电路仿真。为了验证模型的准确性,在相同工艺参数下使用Silvaco TCAD对该十字型霍尔传感器进行了三维器件仿真,器件仿真和电路仿真结果达到了很好的一致性,表明该模型在低磁场条件下具有较高的仿真精度。