基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计

基于频闪显微干涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技术,提出了一种MEMS三维动态测量的同步控制系统。在该系统中,频闪的参数通过有USB功能的MCU从PC配置到FPGA中,然后由FPGA分别控制测量系统中的声光调制器、MEMS驱动器、微动平移台和千兆网相机。结合开发的应用软件,可以实时测量MEMS的运动。计算表明,使用该系统所能测量的MEMS的理论最高周期运动频率为1 MHz。实验证明这种方法行之有效。