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硅基纳米金属光刻蚀结构的侧向光伏效应
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作者 周德军 张静 王辉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期275-277,共3页
研究目的是探索半导体异质结构下的新型光电效应,为位置灵敏传感器的设计提供新思路.利用磁控溅射镀膜技术在P型硅基衬底上生长N型Cr金属薄膜,从而得到Cr/SiO/Si的硅基纳米金属异质结构.使用纳米光刻蚀技术在金属层上按照设计的条纹图... 研究目的是探索半导体异质结构下的新型光电效应,为位置灵敏传感器的设计提供新思路.利用磁控溅射镀膜技术在P型硅基衬底上生长N型Cr金属薄膜,从而得到Cr/SiO/Si的硅基纳米金属异质结构.使用纳米光刻蚀技术在金属层上按照设计的条纹图形进行光刻蚀加工,得到硅基纳米金属光刻蚀结构.在对结构进行I-V特性测量的过程中发现侧向光伏效应.使用635nm,功率5mW激光器时,其侧向光伏效应的最大灵敏度为4.844mV·mm-1,并且线性度较好. 展开更多
关键词 磁控溅射 纳米刻蚀 半导体异质效应结构 侧向效应
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集成收发式学习型遥控器的设计 被引量:1
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作者 丁家峰 李新梅 许雪梅 《微计算机信息》 北大核心 2008年第32期276-278,共3页
本文提出了基于光激发/光伏探测特性的正偏压1-4象限集成红外收发模型,并设计了基于该模型和MSP430处理器的学习型遥控器。实验结果表明,该系统可顺利接收3~5cm距离的红外遥控器信号,并实现了远距离红外控制,是一种优异的学习型遥控器... 本文提出了基于光激发/光伏探测特性的正偏压1-4象限集成红外收发模型,并设计了基于该模型和MSP430处理器的学习型遥控器。实验结果表明,该系统可顺利接收3~5cm距离的红外遥控器信号,并实现了远距离红外控制,是一种优异的学习型遥控器设计方案。 展开更多
关键词 半导体光伏效应 集成红外收发系统 学习型遥控器
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