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硅基纳米金属光刻蚀结构的侧向光伏效应
1
作者
周德军
张静
王辉
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期275-277,共3页
研究目的是探索半导体异质结构下的新型光电效应,为位置灵敏传感器的设计提供新思路.利用磁控溅射镀膜技术在P型硅基衬底上生长N型Cr金属薄膜,从而得到Cr/SiO/Si的硅基纳米金属异质结构.使用纳米光刻蚀技术在金属层上按照设计的条纹图...
研究目的是探索半导体异质结构下的新型光电效应,为位置灵敏传感器的设计提供新思路.利用磁控溅射镀膜技术在P型硅基衬底上生长N型Cr金属薄膜,从而得到Cr/SiO/Si的硅基纳米金属异质结构.使用纳米光刻蚀技术在金属层上按照设计的条纹图形进行光刻蚀加工,得到硅基纳米金属光刻蚀结构.在对结构进行I-V特性测量的过程中发现侧向光伏效应.使用635nm,功率5mW激光器时,其侧向光伏效应的最大灵敏度为4.844mV·mm-1,并且线性度较好.
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关键词
磁控溅射
纳米
光
刻蚀
半导体
异质
光
伏
效应
结构
侧向
光
伏
效应
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职称材料
集成收发式学习型遥控器的设计
被引量:
1
2
作者
丁家峰
李新梅
许雪梅
《微计算机信息》
北大核心
2008年第32期276-278,共3页
本文提出了基于光激发/光伏探测特性的正偏压1-4象限集成红外收发模型,并设计了基于该模型和MSP430处理器的学习型遥控器。实验结果表明,该系统可顺利接收3~5cm距离的红外遥控器信号,并实现了远距离红外控制,是一种优异的学习型遥控器...
本文提出了基于光激发/光伏探测特性的正偏压1-4象限集成红外收发模型,并设计了基于该模型和MSP430处理器的学习型遥控器。实验结果表明,该系统可顺利接收3~5cm距离的红外遥控器信号,并实现了远距离红外控制,是一种优异的学习型遥控器设计方案。
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关键词
半导体光伏效应
集成红外收发系统
学习型遥控器
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职称材料
题名
硅基纳米金属光刻蚀结构的侧向光伏效应
1
作者
周德军
张静
王辉
机构
防化研究院
东北师范大学
上海交通大学
出处
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期275-277,共3页
文摘
研究目的是探索半导体异质结构下的新型光电效应,为位置灵敏传感器的设计提供新思路.利用磁控溅射镀膜技术在P型硅基衬底上生长N型Cr金属薄膜,从而得到Cr/SiO/Si的硅基纳米金属异质结构.使用纳米光刻蚀技术在金属层上按照设计的条纹图形进行光刻蚀加工,得到硅基纳米金属光刻蚀结构.在对结构进行I-V特性测量的过程中发现侧向光伏效应.使用635nm,功率5mW激光器时,其侧向光伏效应的最大灵敏度为4.844mV·mm-1,并且线性度较好.
关键词
磁控溅射
纳米
光
刻蚀
半导体
异质
光
伏
效应
结构
侧向
光
伏
效应
Keywords
magnetron sputtering
nanometer photolithography
semiconductor heterostructurephotovoltaic effect
lateral photovoltaic effect
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
集成收发式学习型遥控器的设计
被引量:
1
2
作者
丁家峰
李新梅
许雪梅
机构
中南大学物理科学与技术学院
出处
《微计算机信息》
北大核心
2008年第32期276-278,共3页
基金
湖南省自然科学基金项目
有机电致发光器件中界面及其对发光性能的影响(06JJ2034)
文摘
本文提出了基于光激发/光伏探测特性的正偏压1-4象限集成红外收发模型,并设计了基于该模型和MSP430处理器的学习型遥控器。实验结果表明,该系统可顺利接收3~5cm距离的红外遥控器信号,并实现了远距离红外控制,是一种优异的学习型遥控器设计方案。
关键词
半导体光伏效应
集成红外收发系统
学习型遥控器
Keywords
semiconductor photovoltaic effect
integrated infrared transceiver system
learning remote-controller
分类号
TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅基纳米金属光刻蚀结构的侧向光伏效应
周德军
张静
王辉
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
下载PDF
职称材料
2
集成收发式学习型遥控器的设计
丁家峰
李新梅
许雪梅
《微计算机信息》
北大核心
2008
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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