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我国集成电路专用材料发展状况分析 被引量:8
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作者 朱惠臣 孙晓光 杜黎明 《集成电路应用》 2021年第2期22-25,共4页
研究我国集成电路发展的状况、市场规模的扩大、内需潜力的稳步上升、产业链结构逐渐完善、部分细分材料不断实现底层突破,从而有效地促进我国集成电路材料的创新发展。
关键词 集成电路制造 产业链结构 摩尔定律 半导体关键材料 国产化水平
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