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半导体分析仪微小电流校准方法研究 被引量:4
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作者 乔玉娥 郑世棋 +1 位作者 梁法国 丁立强 《计算机与数字工程》 2015年第1期17-20,43,共5页
半导体分析仪作为目前半导体器件I-V特性曲线的最重要测量仪器,其微小电流低至pA量级,准确度至1%,采用常规直接测量方法无法实现,论文在研究校准方案的基础上,利用"加压测流法"对GΩ量级高值电阻器进行标定,设计与其配套的无... 半导体分析仪作为目前半导体器件I-V特性曲线的最重要测量仪器,其微小电流低至pA量级,准确度至1%,采用常规直接测量方法无法实现,论文在研究校准方案的基础上,利用"加压测流法"对GΩ量级高值电阻器进行标定,设计与其配套的无源低电流适配器,巧妙利用Guard技术实现对pA、nA量级微小电流的校准。采用"传递比较法"与上级机构对1pA^10nA的微小电流进行验证,试验数据验证了论文校准方案的正确性。论文技术成果已经应用于半导体工艺线源表类测试系统的校准中,值得借鉴推广。 展开更多
关键词 半导体分析仪 适配器 微小电流 高值电阻器 Guard技术
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基于SR7265硬件的虚拟锁相放大器、频谱仪、阻抗计和半导体参数分析仪(英文) 被引量:1
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作者 白江华 Freeouf L John Andres La Rosa 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2018年第1期50-58,共9页
锁相放大器是用来测量微弱信号的专用仪器。即使噪音上千倍于被测信号,通过锁相放大器,也能得到精确结果。随着数字信号处理技术在仪器中的应用,可编程仪器变得越来越灵活。结合虚拟仪器的技术,论文通过对SR7265的硬件重新编程,在同一... 锁相放大器是用来测量微弱信号的专用仪器。即使噪音上千倍于被测信号,通过锁相放大器,也能得到精确结果。随着数字信号处理技术在仪器中的应用,可编程仪器变得越来越灵活。结合虚拟仪器的技术,论文通过对SR7265的硬件重新编程,在同一个硬件上实现了虚拟锁相放大器、虚拟频谱仪、虚拟阻抗计和虚拟半导体参数分析仪等等功能。本虚拟仪器采用了4层的逻辑结构。同样的功能也在一个FPGA板上成功地部署。 展开更多
关键词 虚拟锁相放大器 虚拟频谱仪 虚拟阻抗计 虚拟半导体参数分析仪 4层逻辑结构
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半导体激光气体分析仪的常见问题与维护 被引量:1
3
作者 刘海泉 《化工自动化及仪表》 CAS 2018年第6期497-500,共4页
介绍LGA-4500IC半导体激光气体分析仪的工作原理、系统组成及其优势。分析该分析仪在应用过程中易出现的问题与相应的维护建议。
关键词 半导体激光气体分析仪 H2S浓度 差分算法 吸附气路 未吸附直通气路 环境适应能力
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半导体激光气体分析仪在转炉煤气回收中的应用
4
作者 刘大召 吴光宁 郭兰华 《河北冶金》 2012年第6期50-51,82,共3页
分析了石钢公司转炉炼钢厂煤气磁氧分析仪故障频发的原因是设备老化问题。提出采用半导体激光分析仪,利用激光能量被气体分子"选频"吸收形成吸收光谱的原理,测量被测气体浓度,判断煤气回收条件,指导炼钢生产。项目运行半年来... 分析了石钢公司转炉炼钢厂煤气磁氧分析仪故障频发的原因是设备老化问题。提出采用半导体激光分析仪,利用激光能量被气体分子"选频"吸收形成吸收光谱的原理,测量被测气体浓度,判断煤气回收条件,指导炼钢生产。项目运行半年来,分析仪未出现故障,煤气回收时间较改造前延长了40 s,提高了煤气回收量,经济效益可观,同时减轻了维护、检修劳动强度。 展开更多
关键词 磁氧分析仪 半导体激光气体分析仪 煤气回收 应用
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LAG-4100半导体激光气体分析仪在炼铁高炉的应用
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作者 范中伟 范中武 《中国仪器仪表》 2019年第5期68-70,共3页
分析半导体激光气体分析仪在炼铁高炉煤气成分分析系统中的应用原理、组成及常见故障排除和维护。
关键词 半导体激光气体分析仪 DLAS技术 煤气成分分析
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半导体器件分析仪任意波形发生电路的设计
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作者 王俊生 《安徽电子信息职业技术学院学报》 2017年第3期4-7,共4页
半导体器件分析仪是一款10插槽设计的模块化仪器,包含高功率、中功率、电容测量以及波形发生与快速测量模块(WGFMU)等,具有电流对电压测量(IV)、电容对电压测量(CV)、脉冲发生、快速IV测量等功能。WGFMU模块集成了任意波形发生和快速电... 半导体器件分析仪是一款10插槽设计的模块化仪器,包含高功率、中功率、电容测量以及波形发生与快速测量模块(WGFMU)等,具有电流对电压测量(IV)、电容对电压测量(CV)、脉冲发生、快速IV测量等功能。WGFMU模块集成了任意波形发生和快速电压电流测量等能力,本文针对WGFMU模块的任意波形发生电路进行详细的设计与分析,并进行了输出波形验证。 展开更多
关键词 半导体器件分析仪 波形发生 快速测量 差分电流
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安捷伦科技推出整合CV和IV测量功能的半导体器件分析仪
7
《国外电子测量技术》 2005年第6期55-55,共1页
关键词 安捷伦科技公司 半导体器件分析仪 B1500A 功能
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安捷伦推出半导体器件分析仪B1500A
8
《电子测试(新电子)》 2005年第6期96-96,共1页
安捷伦日前推出了基于Windows的半导体器件分析仪B1500A,能够将电容对电压测量(CV)及电流对电压测量(IV)功能集成到一台仪器中。安捷伦B1500A为参数测试和分析提供了可单机、可扩展解决方案,能够处理65纳米及更小光刻工艺。模块化仪... 安捷伦日前推出了基于Windows的半导体器件分析仪B1500A,能够将电容对电压测量(CV)及电流对电压测量(IV)功能集成到一台仪器中。安捷伦B1500A为参数测试和分析提供了可单机、可扩展解决方案,能够处理65纳米及更小光刻工艺。模块化仪器采用10插槽配置,支持安捷伦新推出的EasyEXPERT软件。 展开更多
关键词 安捷伦公司 性能 半导体器件分析仪 B1500A
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B1500A等:半导体器件分析仪
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《世界电子元器件》 2013年第9期33-33,共1页
安捷伦科技公司推出B1500A半导体器件分析仪,增强了源表(SMU)和软件功能。
关键词 半导体器件分析仪 安捷伦科技公司 软件功能
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安捷伦业界领先的参数分析仪以更低成本提供更快速的脉冲和更丰富的功能
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《电子测量技术》 2013年第7期129-129,共1页
2013年6月25日,北京——安捷伦科技公司(NYSE:A)日前宣布其B1500A半导体器件分析仪——业界领先的半导体参数分析仪——增强了源表(SMU)和软件功能。
关键词 半导体器件分析仪 安捷伦科技公司 低成本 脉冲 软件功能
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安捷伦业界领先的参数分析仪以更低成本提供更快速的脉冲和更丰富的功能
11
《国外电子测量技术》 2013年第7期80-80,共1页
2013年6月25日。安捷伦科技公司宣布其B1500A半导体器件分析仪增强了源表(SMU)和软件功能。
关键词 半导体器件分析仪 安捷伦科技公司 软件功能 低成本 脉冲
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安捷伦参数分析仪以更低成本提供更快速的脉冲和更丰富的功能
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《电信技术》 2013年第7期26-26,共1页
安捷伦科技公司日前宣布其B1500A半导体器件分析仪增强了源表(SMU)和软件功能。全新B1514A50us脉冲中等电流SMU可在30V/1A范围内提供更快速的脉冲,
关键词 半导体器件分析仪 安捷伦科技公司 脉冲 低成本 软件功能 SMU 电流
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安捷伦参数分析仪增强源表(SMU)功能
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《今日电子》 2013年第8期68-69,共2页
安捷伦B1500A半导体器件分析仪增强了源表(SMU)和软件功能。全新B1514A 50μs脉冲中等电流SMU可在30V/1A范围内提供更快速的脉冲,并提供类似于示波器的视图。全新B1511B中等功率SMU以较低价格提供0.1fA低电流测量功能,并配有可选的自... 安捷伦B1500A半导体器件分析仪增强了源表(SMU)和软件功能。全新B1514A 50μs脉冲中等电流SMU可在30V/1A范围内提供更快速的脉冲,并提供类似于示波器的视图。全新B1511B中等功率SMU以较低价格提供0.1fA低电流测量功能,并配有可选的自动传感和开关单元。 展开更多
关键词 半导体器件分析仪 软件功能 安捷伦 测量功能 中等功率 SMU 低电流 示波器
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SRAM失效分析 被引量:1
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作者 谢凯翔 《中国集成电路》 2017年第10期70-73,共4页
1引言 目前.能探洲极窄线宽的纳米探针技术取得了许多进展,从而能表征集成电路内单个器件的电气特性。这篇文章将介绍如何用B1500A半导体器件分析仪进行这类测量,我们通过SRAM失效分析说明这项技术,
关键词 失效分析 SRAM 半导体器件分析仪 探针技术 电气特性 集成电路 窄线宽
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阻变存储阵列的自动化测试系统 被引量:2
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作者 董大年 汪毓铎 +3 位作者 吕杭炳 姚志宏 冯雪 余兆安 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第12期956-959,共4页
阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4... 阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4200-SCS)、开关矩阵以及相关外围电路搭建了一套针对阻变存储阵列的自动测试系统,实现了1Mbit RRAM芯片的初始阻态分布的读取、初始化测试、存储单元的自动化编程/擦除操作。测试结果表明,该测试系统可以实现阻变存储阵列的自动化测试,为进一步工艺参数和编程算法的优化设计奠定基础。 展开更多
关键词 阻变存储(RRAM)阵列 半导体参数分析仪 自动测试系统 可靠性 开关矩阵
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安捷伦助力中国纳米技术发展
16
《电子产品世界》 2007年第4期105-105,共1页
安捷伦科技于15日在北京举办了安捷伦首届纳米技术与测量解决方案研讨会。研讨会设有七大主题,分别是“安捷伦在纳米技术中的贡献”;“多用途的扫描探针显微镜”、“碳管场效应晶体管的纳米探测和评估”、“纳米器件的阻抗测量”、“... 安捷伦科技于15日在北京举办了安捷伦首届纳米技术与测量解决方案研讨会。研讨会设有七大主题,分别是“安捷伦在纳米技术中的贡献”;“多用途的扫描探针显微镜”、“碳管场效应晶体管的纳米探测和评估”、“纳米器件的阻抗测量”、“纳米技术中的材料分析”、“使用脉冲发生器检定纳米器件”和“用于纳米技术研究的通用仪器”。在此次研讨会上,安捷伦原子力显微镜、半导体器件分析仪、阻抗分析仪、材料分析仪、脉冲发生器和其它通用仪器的专家们,在会议现场进行了测量仪器的演示。 展开更多
关键词 安捷伦科技 纳米技术 半导体器件分析仪 扫描探针显微镜 脉冲发生器 材料分析仪 中国 场效应晶体管
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测试与测量
17
《世界电子元器件》 2005年第6期92-93,共2页
B1500A:半导体器件分析仪,DAQmx基本版驱动软件,TLA7012/6:逻辑分析仪。
关键词 安捷伦科技公司 B1500A 半导体器件分析仪 美国国家仪器公司 DAQMX 驱动软件
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