半导体厂房气态分子污染物控制探讨

气态分子污染物(AMC)越来越成为半导体厂房建设、运营过程中需要解决的主要问题之一。本文结合AMC控制原理、技术标准、实际工程经验、工厂运行数据、实验数据等简要阐述了半导体厂房对AMC的控制要求、废气排放高度对新风入口位置的影响、新风空调机组中水洗装置的设计要点、各种化学过滤器的性能参数,为同类项目的建设提供参考。

半导体厂房钢结构节点优化应用探讨

由于洁净半导体厂房对抗微震要求较高,因此,设计的梁柱刚度较大,需要大量采用刚接节点。但刚接节点对安装精度要求较高,洁净半导体厂房的平面尺寸较大,容易产生较大的积累误差。论文以杭州某洁净半导体厂房为研究对象,将梁柱栓焊节点优化为全焊接节点,解决了安装过程中由于厂房平面尺寸较大产生的累积误差、安装精度不足、安装困难的问题,保留了原有刚接节点形式的同时提升了构件的安装工效,节约了建设费用。

基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计

在半导体厂房特殊环境中,常见的环境监测系统在组网上存在布线不合理的问题,导致系统在遭遇大量障碍物时信号幅度被衰减,信号穿透性比较差。针对这一问题,提出基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计。在硬件设计上,利用LoRa技术原有的硬件结构中接入射频模块,在厂房内配置温湿度传感器、PM2.5传感器,设计监测终端采集环境传感器数据,在射频模块的支持下实现无线传输;在软件设计上,从工作频率、传输类型、协议参数上设计LoRa协议栈,并配置载波频率,实现监测指令的传输,同时设计随机数序列,用于保证传输过程中的监测数据安全。实验结果表明,设计的基于LoRa技术的环境监测系统面对大量障碍物时信号强度高,监测节点剩余能量均方差小,信号穿透性更强。

大型钢桁架"滑移"施工技术在半导体厂房施工中的应用

文章在技术、工期、成本等方面简要分析了无锡海辰半导体FAB厂房屋面桁架的滑移施工,详细介绍了钢构"滑移"方案中的技术难点—"卸载",认为大型钢构"滑移"的施工技术更适合半导体项目FAB厂房核心生产区的钢构施工.该方案的实施不仅在钢构"滑移"技术方面有了新的技术积累,也使中国半导体厂房建设技术有了新的选择.

先进半导体厂房供电系统分析

结合两个国内大型先进半导体厂房的供电系统设计实例,通过进行负荷分级、变压器容量确定等理论数据分析和系统方案图设计搭建,对两个实例的供电系统进行详细分析,并对列举案例的供电系统进行针对性的异同对比,为后期同类项目设计提供实用案例分析。

半导体厂房空调、净化系统设计探讨

伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。

高精度半导体厂房暖通空调系统浅析

结合西南某半导体厂房ISO Class 1级洁净室的建设经验及对相关规范的理解,着重介绍了高精度半导体厂房空调系统的组成,从送回风系统、排风系统、干盘管布置、空调自控、调试验证、气流组织等方面进行了阐述,为后续高精度半导体厂房建设提供参考。

分析半导体厂房空调系统节能研究

随着我国社会经济不断发展,当今半导体厂房生产技术也在不断提高,半导体生产过程中对空气中的温度、湿度要求十分严格,这就需要不断加强温湿度控制,确保厂房空调系统的有效性。同时还需要出于成本考虑,在能够保证空调运行质量的基础上,加强空调系统节能。基于此,本文重点探究半导体厂房空调系统节能方案,是一种基于PLC自动调节技术的节能系统,可以降低空调运行能耗。

大规模半导体器件厂房通风空调节能分析

分析了大规模半导体器件生产厂房通风空调系统的特点 ,并以某工程为例 ,说明该类厂房能耗大的现状 ,从设计计算和运行管理的角度分析了造成这一不合理现状的原因 ,指出该类厂房应采用变频技术 ,按照生产和非生产工况 ,对送风量、排风量和新风量进行调节、控制 ,达到节能的目的。

半导体电子厂房气体检测及监视系统的设计

在半导体电子厂房中,为了避免因可燃气体和有毒气体泄漏而引起人身安全或生产事故的发生,同时监视各类供气设备的状态,应设置气体检测及监视系统。根据半导体电子厂房工艺特点和对气体检测及监视系统的要求,以某大型项目为例设计了一个为半导体电子厂房服务的气体检测及监视系统,其中包括了系统的架构设计、组成、气体检测器选型原则及系统的配置;并且在后期施工期间实现了控制功能组态和系统调试。系统调试结束后正式投入运行,至今运行良好。

超长工业厂房无缝建造技术的探索与实践

随着国内液晶面板的产量逐渐攀升,中国已成为高端光电半导体产业的领导者,半导体洁净厂房的建设需求随之增大。为满足生产线建设投产需求,这种新型厂房多采用超长不设缝结构设计。结合福州某厂房楼板大平层无缝设计,提出该类建筑基本构造的设计优化、设计思路和施工方法。