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半导体厂房气态分子污染物控制探讨
被引量:
2
1
作者
杨勇
吴宁徽
《暖通空调》
2023年第9期133-140,共8页
气态分子污染物(AMC)越来越成为半导体厂房建设、运营过程中需要解决的主要问题之一。本文结合AMC控制原理、技术标准、实际工程经验、工厂运行数据、实验数据等简要阐述了半导体厂房对AMC的控制要求、废气排放高度对新风入口位置的影...
气态分子污染物(AMC)越来越成为半导体厂房建设、运营过程中需要解决的主要问题之一。本文结合AMC控制原理、技术标准、实际工程经验、工厂运行数据、实验数据等简要阐述了半导体厂房对AMC的控制要求、废气排放高度对新风入口位置的影响、新风空调机组中水洗装置的设计要点、各种化学过滤器的性能参数,为同类项目的建设提供参考。
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关键词
半导体厂房
洁净室
气态分子污染物
水洗
化学过滤器
废气排放
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职称材料
半导体厂房钢结构节点优化应用探讨
被引量:
1
2
作者
闵小奎
张守用
许鹏
《工程建设与设计》
2023年第12期13-15,共3页
由于洁净半导体厂房对抗微震要求较高,因此,设计的梁柱刚度较大,需要大量采用刚接节点。但刚接节点对安装精度要求较高,洁净半导体厂房的平面尺寸较大,容易产生较大的积累误差。论文以杭州某洁净半导体厂房为研究对象,将梁柱栓焊节点优...
由于洁净半导体厂房对抗微震要求较高,因此,设计的梁柱刚度较大,需要大量采用刚接节点。但刚接节点对安装精度要求较高,洁净半导体厂房的平面尺寸较大,容易产生较大的积累误差。论文以杭州某洁净半导体厂房为研究对象,将梁柱栓焊节点优化为全焊接节点,解决了安装过程中由于厂房平面尺寸较大产生的累积误差、安装精度不足、安装困难的问题,保留了原有刚接节点形式的同时提升了构件的安装工效,节约了建设费用。
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关键词
半导体厂房
钢结构
节点
优化
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职称材料
基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计
被引量:
1
3
作者
盖昊宇
张震
+1 位作者
朱炼
张佑春
《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》
2022年第4期14-19,共6页
在半导体厂房特殊环境中,常见的环境监测系统在组网上存在布线不合理的问题,导致系统在遭遇大量障碍物时信号幅度被衰减,信号穿透性比较差。针对这一问题,提出基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计。在硬件设计上,利用LoRa技...
在半导体厂房特殊环境中,常见的环境监测系统在组网上存在布线不合理的问题,导致系统在遭遇大量障碍物时信号幅度被衰减,信号穿透性比较差。针对这一问题,提出基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计。在硬件设计上,利用LoRa技术原有的硬件结构中接入射频模块,在厂房内配置温湿度传感器、PM2.5传感器,设计监测终端采集环境传感器数据,在射频模块的支持下实现无线传输;在软件设计上,从工作频率、传输类型、协议参数上设计LoRa协议栈,并配置载波频率,实现监测指令的传输,同时设计随机数序列,用于保证传输过程中的监测数据安全。实验结果表明,设计的基于LoRa技术的环境监测系统面对大量障碍物时信号强度高,监测节点剩余能量均方差小,信号穿透性更强。
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关键词
LoRa技术
半导体厂房
环境监测
实时传输
信号衰减
远程监控
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职称材料
大型钢桁架"滑移"施工技术在半导体厂房施工中的应用
被引量:
1
4
作者
邹开举
刘辉
《工程技术研究》
2020年第11期38-39,共2页
文章在技术、工期、成本等方面简要分析了无锡海辰半导体FAB厂房屋面桁架的滑移施工,详细介绍了钢构"滑移"方案中的技术难点—"卸载",认为大型钢构"滑移"的施工技术更适合半导体项目FAB厂房核心生产区的...
文章在技术、工期、成本等方面简要分析了无锡海辰半导体FAB厂房屋面桁架的滑移施工,详细介绍了钢构"滑移"方案中的技术难点—"卸载",认为大型钢构"滑移"的施工技术更适合半导体项目FAB厂房核心生产区的钢构施工.该方案的实施不仅在钢构"滑移"技术方面有了新的技术积累,也使中国半导体厂房建设技术有了新的选择.
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关键词
钢桁架
滑移
施工成本
半导体厂房
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职称材料
先进半导体厂房供电系统分析
被引量:
3
5
作者
刘雪伟
徐淼
商晓峰
《建筑电气》
2022年第12期11-17,共7页
结合两个国内大型先进半导体厂房的供电系统设计实例,通过进行负荷分级、变压器容量确定等理论数据分析和系统方案图设计搭建,对两个实例的供电系统进行详细分析,并对列举案例的供电系统进行针对性的异同对比,为后期同类项目设计提供实...
结合两个国内大型先进半导体厂房的供电系统设计实例,通过进行负荷分级、变压器容量确定等理论数据分析和系统方案图设计搭建,对两个实例的供电系统进行详细分析,并对列举案例的供电系统进行针对性的异同对比,为后期同类项目设计提供实用案例分析。
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关键词
半导体厂房
供电系统
变电站
负荷分级
无功补偿
变压器选型
柴油发电机
方案设计
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职称材料
高精度半导体厂房暖通空调系统浅析
被引量:
1
6
作者
李华新
周瑞东
《暖通空调》
2022年第S02期241-245,共5页
结合西南某半导体厂房ISO Class 1级洁净室的建设经验及对相关规范的理解,着重介绍了高精度半导体厂房空调系统的组成,从送回风系统、排风系统、干盘管布置、空调自控、调试验证、气流组织等方面进行了阐述,为后续高精度半导体厂房建设...
结合西南某半导体厂房ISO Class 1级洁净室的建设经验及对相关规范的理解,着重介绍了高精度半导体厂房空调系统的组成,从送回风系统、排风系统、干盘管布置、空调自控、调试验证、气流组织等方面进行了阐述,为后续高精度半导体厂房建设提供参考。
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关键词
半导体厂房
高精度
Class
1级洁净室
暖通空调
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职称材料
半导体厂房空调、净化系统设计探讨
被引量:
2
7
作者
吕纯
《冶金丛刊》
2017年第1期216-,220,共2页
伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多...
伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。
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关键词
半导体厂房
空调净化系统
设计
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职称材料
分析半导体厂房空调系统节能研究
8
作者
沈阳
《城市周刊》
2018年第32期8-8,共1页
随着我国社会经济不断发展,当今半导体厂房生产技术也在不断提高,半导体生产过程中对空气中的温度、湿度要求十分严格,这就需要不断加强温湿度控制,确保厂房空调系统的有效性。同时还需要出于成本考虑,在能够保证空调运行质量的基础上,...
随着我国社会经济不断发展,当今半导体厂房生产技术也在不断提高,半导体生产过程中对空气中的温度、湿度要求十分严格,这就需要不断加强温湿度控制,确保厂房空调系统的有效性。同时还需要出于成本考虑,在能够保证空调运行质量的基础上,加强空调系统节能。基于此,本文重点探究半导体厂房空调系统节能方案,是一种基于PLC自动调节技术的节能系统,可以降低空调运行能耗。
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关键词
半导体厂房
空调系统
节能
PLC
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职称材料
第三代半导体厂房高效建造综合施工技术研究
9
作者
高轩宇
杨鹏
+1 位作者
简廷新
宋念铎
《建筑机械化》
2024年第10期77-80,共4页
依托第三代半导体厂房项目提出洁净厂房高效建造综合施工技术,介绍了基础工程跳仓施工技术、二次混凝土结构一次现浇技术、装饰装修与洁净工程穿插施工技术和智慧建造技术并开展半导体洁净厂房高效建造相关研究,以达到缩短工期、提高施...
依托第三代半导体厂房项目提出洁净厂房高效建造综合施工技术,介绍了基础工程跳仓施工技术、二次混凝土结构一次现浇技术、装饰装修与洁净工程穿插施工技术和智慧建造技术并开展半导体洁净厂房高效建造相关研究,以达到缩短工期、提高施工质量、降低建造成本的目的。
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关键词
半导体厂房
穿插施工
高效建造
原文传递
大规模半导体器件厂房通风空调节能分析
被引量:
1
10
作者
罗远桂
《暖通空调》
北大核心
2001年第6期83-85,共3页
分析了大规模半导体器件生产厂房通风空调系统的特点 ,并以某工程为例 ,说明该类厂房能耗大的现状 ,从设计计算和运行管理的角度分析了造成这一不合理现状的原因 ,指出该类厂房应采用变频技术 ,按照生产和非生产工况 ,对送风量、排风量...
分析了大规模半导体器件生产厂房通风空调系统的特点 ,并以某工程为例 ,说明该类厂房能耗大的现状 ,从设计计算和运行管理的角度分析了造成这一不合理现状的原因 ,指出该类厂房应采用变频技术 ,按照生产和非生产工况 ,对送风量、排风量和新风量进行调节、控制 ,达到节能的目的。
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关键词
半导体
器件
厂房
洁净室
通风
空调
节能
变频调速
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职称材料
半导体电子厂房气体检测及监视系统的设计
被引量:
1
11
作者
刘浩
《仪表技术》
2020年第3期27-30,共4页
在半导体电子厂房中,为了避免因可燃气体和有毒气体泄漏而引起人身安全或生产事故的发生,同时监视各类供气设备的状态,应设置气体检测及监视系统。根据半导体电子厂房工艺特点和对气体检测及监视系统的要求,以某大型项目为例设计了一个...
在半导体电子厂房中,为了避免因可燃气体和有毒气体泄漏而引起人身安全或生产事故的发生,同时监视各类供气设备的状态,应设置气体检测及监视系统。根据半导体电子厂房工艺特点和对气体检测及监视系统的要求,以某大型项目为例设计了一个为半导体电子厂房服务的气体检测及监视系统,其中包括了系统的架构设计、组成、气体检测器选型原则及系统的配置;并且在后期施工期间实现了控制功能组态和系统调试。系统调试结束后正式投入运行,至今运行良好。
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关键词
半导体
电子
厂房
检测及监视系统
气体检测器
PLC
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职称材料
超长工业厂房无缝建造技术的探索与实践
12
作者
林祥武
《福建建筑》
2022年第9期72-75,共4页
随着国内液晶面板的产量逐渐攀升,中国已成为高端光电半导体产业的领导者,半导体洁净厂房的建设需求随之增大。为满足生产线建设投产需求,这种新型厂房多采用超长不设缝结构设计。结合福州某厂房楼板大平层无缝设计,提出该类建筑基本构...
随着国内液晶面板的产量逐渐攀升,中国已成为高端光电半导体产业的领导者,半导体洁净厂房的建设需求随之增大。为满足生产线建设投产需求,这种新型厂房多采用超长不设缝结构设计。结合福州某厂房楼板大平层无缝设计,提出该类建筑基本构造的设计优化、设计思路和施工方法。
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关键词
超长不设缝结构
半导体
洁净
厂房
无缝建造技术
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职称材料
题名
半导体厂房气态分子污染物控制探讨
被引量:
2
1
作者
杨勇
吴宁徽
机构
中建凯德电子工程设计有限公司
出处
《暖通空调》
2023年第9期133-140,共8页
文摘
气态分子污染物(AMC)越来越成为半导体厂房建设、运营过程中需要解决的主要问题之一。本文结合AMC控制原理、技术标准、实际工程经验、工厂运行数据、实验数据等简要阐述了半导体厂房对AMC的控制要求、废气排放高度对新风入口位置的影响、新风空调机组中水洗装置的设计要点、各种化学过滤器的性能参数,为同类项目的建设提供参考。
关键词
半导体厂房
洁净室
气态分子污染物
水洗
化学过滤器
废气排放
Keywords
semiconductor plant
clean room
airborne molecular contaminant
air washing
chemical filter
exhaust emission
分类号
TU834.83 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
半导体厂房钢结构节点优化应用探讨
被引量:
1
2
作者
闵小奎
张守用
许鹏
机构
中国电子系统工程第二建设有限公司
出处
《工程建设与设计》
2023年第12期13-15,共3页
文摘
由于洁净半导体厂房对抗微震要求较高,因此,设计的梁柱刚度较大,需要大量采用刚接节点。但刚接节点对安装精度要求较高,洁净半导体厂房的平面尺寸较大,容易产生较大的积累误差。论文以杭州某洁净半导体厂房为研究对象,将梁柱栓焊节点优化为全焊接节点,解决了安装过程中由于厂房平面尺寸较大产生的累积误差、安装精度不足、安装困难的问题,保留了原有刚接节点形式的同时提升了构件的安装工效,节约了建设费用。
关键词
半导体厂房
钢结构
节点
优化
Keywords
semiconductor workshop
steel structure
node
optimization
分类号
TU391 [建筑科学—结构工程]
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职称材料
题名
基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计
被引量:
1
3
作者
盖昊宇
张震
朱炼
张佑春
机构
安徽工商职业学院应用工程学院
出处
《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》
2022年第4期14-19,共6页
基金
安徽省高校优秀拔尖人才培育资助项目(gxyqZD2021146,gxbjZD2020105)
安徽省高等学校自然科学研究重点项目(KJ2020A1096,KJ2020A1094,KJ2020A1095)
+1 种基金
安徽省省级质量工程项目(2020jyxm0194,2020szsfkc0115,2020sjjd016,2019xqsxzx71)
安徽省职业与成人教育学会教育教学研究规划课题(azcg200)。
文摘
在半导体厂房特殊环境中,常见的环境监测系统在组网上存在布线不合理的问题,导致系统在遭遇大量障碍物时信号幅度被衰减,信号穿透性比较差。针对这一问题,提出基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计。在硬件设计上,利用LoRa技术原有的硬件结构中接入射频模块,在厂房内配置温湿度传感器、PM2.5传感器,设计监测终端采集环境传感器数据,在射频模块的支持下实现无线传输;在软件设计上,从工作频率、传输类型、协议参数上设计LoRa协议栈,并配置载波频率,实现监测指令的传输,同时设计随机数序列,用于保证传输过程中的监测数据安全。实验结果表明,设计的基于LoRa技术的环境监测系统面对大量障碍物时信号强度高,监测节点剩余能量均方差小,信号穿透性更强。
关键词
LoRa技术
半导体厂房
环境监测
实时传输
信号衰减
远程监控
Keywords
LoRa technology
semiconductor plant
environmental monitoring
real-time transmission
signal attenuation
remote monitoring
分类号
TP393 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
大型钢桁架"滑移"施工技术在半导体厂房施工中的应用
被引量:
1
4
作者
邹开举
刘辉
机构
信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
出处
《工程技术研究》
2020年第11期38-39,共2页
文摘
文章在技术、工期、成本等方面简要分析了无锡海辰半导体FAB厂房屋面桁架的滑移施工,详细介绍了钢构"滑移"方案中的技术难点—"卸载",认为大型钢构"滑移"的施工技术更适合半导体项目FAB厂房核心生产区的钢构施工.该方案的实施不仅在钢构"滑移"技术方面有了新的技术积累,也使中国半导体厂房建设技术有了新的选择.
关键词
钢桁架
滑移
施工成本
半导体厂房
分类号
TU758.11 [建筑科学—建筑技术科学]
下载PDF
职称材料
题名
先进半导体厂房供电系统分析
被引量:
3
5
作者
刘雪伟
徐淼
商晓峰
机构
无锡市安达建设工程有限公司
中国电子系统工程第二建设有限公司
出处
《建筑电气》
2022年第12期11-17,共7页
文摘
结合两个国内大型先进半导体厂房的供电系统设计实例,通过进行负荷分级、变压器容量确定等理论数据分析和系统方案图设计搭建,对两个实例的供电系统进行详细分析,并对列举案例的供电系统进行针对性的异同对比,为后期同类项目设计提供实用案例分析。
关键词
半导体厂房
供电系统
变电站
负荷分级
无功补偿
变压器选型
柴油发电机
方案设计
Keywords
advanced semi-conductor plant
power supply system
substation
load classification
reactive power compensation
transformer model selection
diesel generator
schematic design
分类号
TU852 [建筑科学]
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职称材料
题名
高精度半导体厂房暖通空调系统浅析
被引量:
1
6
作者
李华新
周瑞东
机构
中国电子系统工程第四建设有限公司
出处
《暖通空调》
2022年第S02期241-245,共5页
文摘
结合西南某半导体厂房ISO Class 1级洁净室的建设经验及对相关规范的理解,着重介绍了高精度半导体厂房空调系统的组成,从送回风系统、排风系统、干盘管布置、空调自控、调试验证、气流组织等方面进行了阐述,为后续高精度半导体厂房建设提供参考。
关键词
半导体厂房
高精度
Class
1级洁净室
暖通空调
分类号
TU831 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
半导体厂房空调、净化系统设计探讨
被引量:
2
7
作者
吕纯
机构
上海先进半导制造股份有限公司
出处
《冶金丛刊》
2017年第1期216-,220,共2页
文摘
伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。
关键词
半导体厂房
空调净化系统
设计
分类号
TU83 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
分析半导体厂房空调系统节能研究
8
作者
沈阳
机构
中国电子系统工程第二建设有限公司
出处
《城市周刊》
2018年第32期8-8,共1页
文摘
随着我国社会经济不断发展,当今半导体厂房生产技术也在不断提高,半导体生产过程中对空气中的温度、湿度要求十分严格,这就需要不断加强温湿度控制,确保厂房空调系统的有效性。同时还需要出于成本考虑,在能够保证空调运行质量的基础上,加强空调系统节能。基于此,本文重点探究半导体厂房空调系统节能方案,是一种基于PLC自动调节技术的节能系统,可以降低空调运行能耗。
关键词
半导体厂房
空调系统
节能
PLC
分类号
TU831.3 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
第三代半导体厂房高效建造综合施工技术研究
9
作者
高轩宇
杨鹏
简廷新
宋念铎
机构
中建二局第一建筑工程有限公司
出处
《建筑机械化》
2024年第10期77-80,共4页
文摘
依托第三代半导体厂房项目提出洁净厂房高效建造综合施工技术,介绍了基础工程跳仓施工技术、二次混凝土结构一次现浇技术、装饰装修与洁净工程穿插施工技术和智慧建造技术并开展半导体洁净厂房高效建造相关研究,以达到缩短工期、提高施工质量、降低建造成本的目的。
关键词
半导体厂房
穿插施工
高效建造
分类号
TU745 [建筑科学—建筑技术科学]
原文传递
题名
大规模半导体器件厂房通风空调节能分析
被引量:
1
10
作者
罗远桂
机构
重庆光电技术研究所
出处
《暖通空调》
北大核心
2001年第6期83-85,共3页
文摘
分析了大规模半导体器件生产厂房通风空调系统的特点 ,并以某工程为例 ,说明该类厂房能耗大的现状 ,从设计计算和运行管理的角度分析了造成这一不合理现状的原因 ,指出该类厂房应采用变频技术 ,按照生产和非生产工况 ,对送风量、排风量和新风量进行调节、控制 ,达到节能的目的。
关键词
半导体
器件
厂房
洁净室
通风
空调
节能
变频调速
Keywords
integrated circuit workshop, clean room, ventilation, air conditioning, energy conservation, frequency control
分类号
TU831.8 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
半导体电子厂房气体检测及监视系统的设计
被引量:
1
11
作者
刘浩
机构
益科德(上海)有限公司
出处
《仪表技术》
2020年第3期27-30,共4页
文摘
在半导体电子厂房中,为了避免因可燃气体和有毒气体泄漏而引起人身安全或生产事故的发生,同时监视各类供气设备的状态,应设置气体检测及监视系统。根据半导体电子厂房工艺特点和对气体检测及监视系统的要求,以某大型项目为例设计了一个为半导体电子厂房服务的气体检测及监视系统,其中包括了系统的架构设计、组成、气体检测器选型原则及系统的配置;并且在后期施工期间实现了控制功能组态和系统调试。系统调试结束后正式投入运行,至今运行良好。
关键词
半导体
电子
厂房
检测及监视系统
气体检测器
PLC
Keywords
semiconductor electronic factory
detection and monitoring system
gas detector
PLC
分类号
TP277 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
超长工业厂房无缝建造技术的探索与实践
12
作者
林祥武
机构
福州建工集团有限公司
出处
《福建建筑》
2022年第9期72-75,共4页
文摘
随着国内液晶面板的产量逐渐攀升,中国已成为高端光电半导体产业的领导者,半导体洁净厂房的建设需求随之增大。为满足生产线建设投产需求,这种新型厂房多采用超长不设缝结构设计。结合福州某厂房楼板大平层无缝设计,提出该类建筑基本构造的设计优化、设计思路和施工方法。
关键词
超长不设缝结构
半导体
洁净
厂房
无缝建造技术
Keywords
Super-long seamless structure
Clean semiconductor workshop
Seamless construction technic
分类号
TU318 [建筑科学—结构工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体厂房气态分子污染物控制探讨
杨勇
吴宁徽
《暖通空调》
2023
2
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职称材料
2
半导体厂房钢结构节点优化应用探讨
闵小奎
张守用
许鹏
《工程建设与设计》
2023
1
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职称材料
3
基于LoRa技术的半导体厂房环境实时监测系统设计
盖昊宇
张震
朱炼
张佑春
《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》
2022
1
下载PDF
职称材料
4
大型钢桁架"滑移"施工技术在半导体厂房施工中的应用
邹开举
刘辉
《工程技术研究》
2020
1
下载PDF
职称材料
5
先进半导体厂房供电系统分析
刘雪伟
徐淼
商晓峰
《建筑电气》
2022
3
下载PDF
职称材料
6
高精度半导体厂房暖通空调系统浅析
李华新
周瑞东
《暖通空调》
2022
1
下载PDF
职称材料
7
半导体厂房空调、净化系统设计探讨
吕纯
《冶金丛刊》
2017
2
下载PDF
职称材料
8
分析半导体厂房空调系统节能研究
沈阳
《城市周刊》
2018
0
下载PDF
职称材料
9
第三代半导体厂房高效建造综合施工技术研究
高轩宇
杨鹏
简廷新
宋念铎
《建筑机械化》
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