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阻变存储阵列的自动化测试系统 被引量:2
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作者 董大年 汪毓铎 +3 位作者 吕杭炳 姚志宏 冯雪 余兆安 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第12期956-959,共4页
阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4... 阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4200-SCS)、开关矩阵以及相关外围电路搭建了一套针对阻变存储阵列的自动测试系统,实现了1Mbit RRAM芯片的初始阻态分布的读取、初始化测试、存储单元的自动化编程/擦除操作。测试结果表明,该测试系统可以实现阻变存储阵列的自动化测试,为进一步工艺参数和编程算法的优化设计奠定基础。 展开更多
关键词 阻变存储(RRAM)阵列 半导体参数分析仪 自动测试系统 可靠性 开关矩阵
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A virtual lock-in amplifier,spectrum analyzer,impedance meter and semiconductor analyzer implemented on an SR7265 hardware target 被引量:1
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作者 BAI Jiang-hua 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2018年第1期50-58,共9页
Lock-in amplifiers are used to detect and measure very small alternating current(AC)signals down to the range of nVs.Accurate measurements can be made even when the small signals are buried by noise thousands of times... Lock-in amplifiers are used to detect and measure very small alternating current(AC)signals down to the range of nVs.Accurate measurements can be made even when the small signals are buried by noise thousands of times larger.With the digital signal processing(DSP)technology involved in modern instrumentation,a lock-in amplifier is more versatile in sensing and recovering small signals.Combining the virtual instrumentation technology,we reorganize the functional blocks of a programmable lock-in amplifier and build it as a virtual spectrum analyzer,virtual impedance meter,virtual network analyzer,virtual semiconductor parameter analyzer,signal generator,etc.A 4 layer model is used to implement these virtual instruments.The same virtual instrument can also be implemented on a general purpose FPGA developing board. 展开更多
关键词 virtual Lock-in amplifier virtual spectrum analyzer virtual impedance meter virtual semiconductor analyzer 4 layer model
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