虚拟仿真实验在半导体器件物理实验中的应用探究

半导体器件物理实验是微电子与集成电路专业的核心专业实验,具有实践性强及技术更新快的特点,而真实实验环节存在实验设备昂贵、安全风险和器件内部特征与参数信息难以获得等问题。西安电子科技大学微电子学院实验中心把虚拟仿真实验应用到半导体器件物理实验当中,作为真实实验的有效补充,通过虚实结合的实验模式探索,解决了经费有限、安全风险和教学内容前沿创新不足等问题,积极促进了高水平、高素质、强能力的集成电路人才培养。