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BST薄膜的研究现状与发展趋势 被引量：4
1
作者 张柏顺 章天金 +1 位作者 刘江华 江娟 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第7期39-42,共4页
综述了(Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3(BST)薄膜材料的研究现状,包括薄膜的制备技术、电极材料的选择、组分与掺杂对电学及介电性能的影响,分析了与薄膜相关的缺陷和可靠性现象,并对未来可能的进展作了简单的描述。
关键词 BST薄膜 介电性能 可靠性 电极材料 半导体微电子器件
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