半导体扩散炉组监控软件的通讯模块设计

本文以微型计算机在半导体扩散炉控制中的应用为例,对上位机监控软件的通讯和组成模块进行了探讨,并使之能与半导体扩散炉组实现高效、可靠通讯。文中给出了相应的软件流程。

基于BF神经网络的半导体扩散炉温度控制建模

针对半导体扩散炉温度控制融合问题,提出了3-9-3结构的BF神经网络控制方法.建模表明:BF网络数学模型具有良好的控制品质和实用、高效等特点.

基于神经网络的半导体扩散炉温度控制研究

针对半导体扩散炉温度控制问题,提出神经网络控制方法.神经网络采用3-3-3结构.仿真表明,此控制方法是可行的,具有良好的控制品质.

基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究

针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF神经网络控制方法。RBF神经网络采用3-8-3结构。建模表明,此RBF网络数学模型具有良好的控制品质。

一种新式半导体扩散炉的结构设计分析

为提升扩散炉的使用寿命以及扩散炉的温度准确性,从而提升半导体芯片质量,设计了一种新式半导体扩散炉的结构,该半导体扩散炉主要在传统扩散炉基础上增设了分别在横纵两个维度排布的石英管旋转装置和立体多功能热电偶。