半导体桥等离子体的光学诊断

为了克服半导体桥(SCB)等离子体尺寸小、存在时间短的局限性问题,用发射光谱法和增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了SCB等离子体的特性。原子发射光谱表明SCB等离子体成分包括铝原子、铁原子、铜原子、铜离子、硅原子和硅离子。根据Stark展宽法,用AlⅠ394.40nm计算等离子体的电子密度为1016cm-3。等离子体尺寸约为500～2 000μm。在延时为1μs时刻,等离子体径向速度约为1 km/s,轴向约为0.7 km/s,在5μs时降到最小。研究结果为优化桥体设计和改善装药条件等研究提供了依据。该方法提供了一种瞬态小尺寸等离子体的诊断途径。