半导体测试仪器故障诊断技术研究

对半导体测试仪器故障诊断方法学和故障定位实用方法进行了初步研究。故障诊断是模式分类和识别结合维修经验的一种重复过程。在简述常用的诊断方法和故障定位技术基础上,用实例探讨了在半导体测试仪器维护实践中运用诊断理论的技巧。