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用于红外单光子探测的APD二次封装技术 被引量:2
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作者 李日豪 廖常俊 +2 位作者 王金东 郭健平 刘颂豪 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期376-378,382,共4页
介绍了用于红外光探测的APD二次封装的概念和技术,将绝热和致冷分开考虑和设计,在常温常压下进行填充式清洁干燥气密封装,保持真空密封的优点,消除潮气的影响,致冷效率高。封装后的外形小巧,结构简单规范,与电控及信号处理系统适配,性... 介绍了用于红外光探测的APD二次封装的概念和技术,将绝热和致冷分开考虑和设计,在常温常压下进行填充式清洁干燥气密封装,保持真空密封的优点,消除潮气的影响,致冷效率高。封装后的外形小巧,结构简单规范,与电控及信号处理系统适配,性能测试结果良好。 展开更多
关键词 单光子探测 二次封装 半导体珀尔帖致冷
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