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微电子行业洁净室空气化学污染控制
被引量:
4
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作者
吴小泉
《洁净与空调技术》
2020年第2期61-67,共7页
微电子工业在日益庞大而复杂的数据处理与存储市场需求的驱动下,半导体线宽已缩小至7 nm。若不能建立起有效空气化学污染控制标准和对其彻底控制,纳米级的光刻工艺是无法进行的。介绍空气化学污染的控制设施平台的建设,并进行了实验验证...
微电子工业在日益庞大而复杂的数据处理与存储市场需求的驱动下,半导体线宽已缩小至7 nm。若不能建立起有效空气化学污染控制标准和对其彻底控制,纳米级的光刻工艺是无法进行的。介绍空气化学污染的控制设施平台的建设,并进行了实验验证,该平台是中国首例达到国际标准(ISO1级,ISO14644-1)超净空气环境设施,在该设施中可开展空气洁净度和空气污染控制等课题研究,对实际项目的设计、运行具有重要参考价值。
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关键词
半导体线宽
空气化学污染
空气洁净度
ISO
1级
下载PDF
职称材料
80nm应用中的高数位孔径,双载具193nm TWINSCAN扫描分步投影机
2
作者
程天风
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期7-11,34,共6页
针对次100nm的生产,ASML研发了一个新光刻系统,其中克服了许多底k1解晰度的挑战。其中包含0.85NA双载具193nmTWINSCAN的设计、性能与一些初步的量测数据。80nm的生产必须要有多方面的量测与控制来达到高准确度的线宽(CD)与对准(Overlay...
针对次100nm的生产,ASML研发了一个新光刻系统,其中克服了许多底k1解晰度的挑战。其中包含0.85NA双载具193nmTWINSCAN的设计、性能与一些初步的量测数据。80nm的生产必须要有多方面的量测与控制来达到高准确度的线宽(CD)与对准(Overlay)的要求水平。本机台拥有高成熟度的双载具平台,稳定的系统动态质(MSD),一惯性的光量递输等功能,幷包含了一个内建侦测回送系统来自动调控投影镜的像差(aberrations),来达到最佳的影像保真度。
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关键词
光刻技术
TWINSCAN
光量递输
投影机
半导体线宽
控制
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职称材料
题名
微电子行业洁净室空气化学污染控制
被引量:
4
1
作者
吴小泉
机构
南京天加环境科技有限公司
出处
《洁净与空调技术》
2020年第2期61-67,共7页
文摘
微电子工业在日益庞大而复杂的数据处理与存储市场需求的驱动下,半导体线宽已缩小至7 nm。若不能建立起有效空气化学污染控制标准和对其彻底控制,纳米级的光刻工艺是无法进行的。介绍空气化学污染的控制设施平台的建设,并进行了实验验证,该平台是中国首例达到国际标准(ISO1级,ISO14644-1)超净空气环境设施,在该设施中可开展空气洁净度和空气污染控制等课题研究,对实际项目的设计、运行具有重要参考价值。
关键词
半导体线宽
空气化学污染
空气洁净度
ISO
1级
Keywords
Semiconductor linewidth
AMC
Air cleanliness
ISO 1 class
分类号
TU834.8 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
下载PDF
职称材料
题名
80nm应用中的高数位孔径,双载具193nm TWINSCAN扫描分步投影机
2
作者
程天风
机构
ASML阿斯麦光刻设备有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期7-11,34,共6页
文摘
针对次100nm的生产,ASML研发了一个新光刻系统,其中克服了许多底k1解晰度的挑战。其中包含0.85NA双载具193nmTWINSCAN的设计、性能与一些初步的量测数据。80nm的生产必须要有多方面的量测与控制来达到高准确度的线宽(CD)与对准(Overlay)的要求水平。本机台拥有高成熟度的双载具平台,稳定的系统动态质(MSD),一惯性的光量递输等功能,幷包含了一个内建侦测回送系统来自动调控投影镜的像差(aberrations),来达到最佳的影像保真度。
关键词
光刻技术
TWINSCAN
光量递输
投影机
半导体线宽
控制
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微电子行业洁净室空气化学污染控制
吴小泉
《洁净与空调技术》
2020
4
下载PDF
职称材料
2
80nm应用中的高数位孔径,双载具193nm TWINSCAN扫描分步投影机
程天风
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引证文献
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