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半导体设备市场的新挑战与新机遇 被引量:2
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作者 程建瑞 王作义 《电子工业专用设备》 2004年第2期81-84,共4页
通过对国内半导体产业发展形势和国内半导体专用设备行业现状的分析,阐述了建立一支掌握着先进技术,又能提供优质服务、反应快速的技术支持队伍的重要性。
关键词 半导体产业 半导体设备行业现状 微细加工技术 集成电路 投资
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