半导体设备通讯标准GEM的应用

SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS/GEM标准的构成,提出了使用SECS/GEM标准接口解决半导体设备自动化的问题。详细叙述了GEM的通信状态模型、控制状态模型和设备处理状态模型,以及GEM的程序设计。并给出了GEM中事件数据收集的设计的实例。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面宽,在我国半导体芯片工业中应用前景广阔。

半导体制造设备工程数据收集技术

本文将介绍为半导体制造设备研发出一套分散式的数据收集及应用的系统架构。在此种平台架构下,能够实现模块间的相互依赖性降低,程序更新阶段的系统稳定性以及新模块加入系统的可植性等特性。经过网络系统,可使不同应用的模块分散于不同的地域,数据通讯依然畅通无阻。利用此系统的基础模块,使用者无需因为不同设备所产生的通讯格式、数据格式等不同而重新开发对应的数据收集系统。

一种基于SECS/GEM协议的设备端通讯接口SDK的设计

SECS/GEM通讯是应用于半导体制造设备和半导体工厂MES之间的通讯标准,半导体设备接入工厂的半导体MES,需要半导体设备按照SECS/GEM相关标准协议的要求实现通讯。为此,基于对SECS/GEM标准协议的研究分析,应用面向对象的设计方法,自上而下地进行软件设计和开发,提出一种整合了半导体设备通讯标准SECS/GEM的SDK,供设备端应用程序进行二次开发,为设备增添该通讯能力。SDK对SECS/GEM诸协议标准进行分层和实现、以动态链接库的形式进行封装、提供高级接口,并设计配置文件,将设备的本身特性进行分离,可以在不同类型的设备上进行部署。通过测试,验证了SDK可以满足SECS/GEM通讯要求,实现了标准中所述的各项能力,其可以应用于各类半导体制造设备的SECS/GEM通讯开发,实现与半导体工厂的MES互联。

GEM通讯协议在减薄设备中的应用

SECS/GEM标准是用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。通过介绍了SECS/GEM系统的构成,详细叙述了GEM的通讯状态模型,控制状态模型和设备状态模型,结合减薄的实际应用需求,列举了状态数据,事件发送和报警收集等功能的实现;表明GEM通信标准在减薄设备中有很好应用。

SECS/GEM标准模型分析及应用

SECS/GEM是半导体自动化生产中广泛采用的一个行业标准。首先介绍了SECS/GEM标准的整体框架,并分析了其行业发展状况,然后依次说明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各个分层标准的数据报文格式、传输控制模型、状态转换模型以及相互间的通信控制方式等,最后分析了该标准在我国半导体自动化生产中的应用状况。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面广,在我国半导体工业中应用前景广阔。

清洗设备远程通讯控制的实现方法

经过实验和实测总结出4种远程通信控制实现方法:基于Socket套接字、MySQL数据库、Web service接口、SECS/GEM半导体标准通讯协议,并分析了几种方法的优缺点,比较几种方法的可行性、稳定性、实时性,便于操作人员根据需求选择最佳的通讯方式。

一种SECS/GEM协议的实现方法

为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特性相关的协议。详述了动态链接库的实现方法,实测结果验证了方法的有效性,具有良好的实用性和可移植性,适应于各种半导体设备的联网实现。