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ASTM半导体键合金丝标准的演化和我国金丝生产标准
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作者 曹颜顺 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期44-47,共4页
以1966年到1994年的ASTM半导体键合金丝标准的演化过程为依据,详细说明了半导体键合金丝标准正随着其研制水平的提高而日趋充实和完善。我国金丝生产水平通过生产工艺改进、设备精化和环境净化等已经有了可观的提高。
关键词 金丝 标准 半导体键合金丝 ASTM
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