半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一。本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向。

电容器

Y2000-62135-245 0019861采用 PECVD 氮化物用于混合信号和射频电路的高密度金属绝缘体金属电容器=High density metal insula-tor metal capacitors using PECVD Nitride for mixed sig-nal and RF circuits[会,英]/Kar-Roy,A.& Hu,C.//1999 IEEE Proceedings of InternationaI InterconnectTechnology Conference.-245～247(EC)