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使用冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试的困难与解决方法
被引量:
1
1
作者
高尚
杨海峰
《理化检验(物理分册)》
CAS
2016年第7期454-456,488,共4页
针对部分冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试时遇到的困难和误区,指出冷场扫描电镜的束流与稳定性能够满足电子背散射衍射测试的表征要求。提出了针对半浸没式物镜的结构,应优先在低倍模式下进行电子背散射衍射测试,高倍模式下测试应...
针对部分冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试时遇到的困难和误区,指出冷场扫描电镜的束流与稳定性能够满足电子背散射衍射测试的表征要求。提出了针对半浸没式物镜的结构,应优先在低倍模式下进行电子背散射衍射测试,高倍模式下测试应使用磁场校正,并指出在低倍放大下应注意低倍位置校正的问题。对于冷场扫描电镜,通过以上方法,大部分电子背散射衍射测试都可以正常进行。
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关键词
冷场扫描电镜
电子背散射衍射
半浸没式物镜
畸变矫正
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职称材料
题名
使用冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试的困难与解决方法
被引量:
1
1
作者
高尚
杨海峰
机构
哈尔滨工业大学深圳研究生院材料科学与工程学院
出处
《理化检验(物理分册)》
CAS
2016年第7期454-456,488,共4页
文摘
针对部分冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试时遇到的困难和误区,指出冷场扫描电镜的束流与稳定性能够满足电子背散射衍射测试的表征要求。提出了针对半浸没式物镜的结构,应优先在低倍模式下进行电子背散射衍射测试,高倍模式下测试应使用磁场校正,并指出在低倍放大下应注意低倍位置校正的问题。对于冷场扫描电镜,通过以上方法,大部分电子背散射衍射测试都可以正常进行。
关键词
冷场扫描电镜
电子背散射衍射
半浸没式物镜
畸变矫正
Keywords
cold field emission gun SEM
electron back scattered diffraction
snorkel lens
distortion correction
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
使用冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试的困难与解决方法
高尚
杨海峰
《理化检验(物理分册)》
CAS
2016
1
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职称材料
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