激光半焦斑边缘检出法测径系统

在分析传统半光强法的基础上 ,通过计算机仿真提出了激光半焦斑边缘检出法 ,介绍了一种采用激光半焦斑边缘检出法的光电测径系统及其相关的技术要点。分析并修正了系统误差 ,从而实现了对不同材料、不同加工方法和不同表面处理工件的精密测量。系统的设计量程为 10 0mm ,边缘检出灵敏度为 0 32μm ,测量不确定度为 2σ≤ 3μm。