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半球形基底镀膜膜厚均匀性理论分析 被引量:12
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作者 吴伟 王济洲 +2 位作者 熊玉卿 王多书 冯煜东 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期320-324,共5页
对特殊的非平面基片-半球表面上镀制薄膜的膜厚均匀性进行了理论分析研究。首先,推导了半球面静止时球面各点的膜厚方程以及此时半球面能够镀膜的区域。然后推算了半球表面沿通过球心竖直方向的轴转动后球面各位置处的膜厚方程,另外当... 对特殊的非平面基片-半球表面上镀制薄膜的膜厚均匀性进行了理论分析研究。首先,推导了半球面静止时球面各点的膜厚方程以及此时半球面能够镀膜的区域。然后推算了半球表面沿通过球心竖直方向的轴转动后球面各位置处的膜厚方程,另外当蒸发源与球心的水平距离小于半球面半径时,存在一定区域无法镀膜,对该区域进行了理论计算。最后通过计算相对膜厚分析了半球表面膜层厚度分布情况。选择合适的蒸发源与基底间的几何配置可获得小范围内相对较为均匀的镀膜区域。该研究工作对半球面这种复杂的非平面基片上镀膜膜厚均匀性研究工作具有理论指导意义,同时对改善此种表面上的膜厚分布研究提供了相关的理论依据。 展开更多
关键词 膜厚均匀性 半球形 真空镀膜 理论分析
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圆柱浮子垂荡运动性能的CFD模拟与流场分析 被引量:2
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作者 张亮 国威 郑雄波 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期65-70,共6页
对波浪能装置中的圆柱形浮子采用计算流体力学(CFD)方法进行时域模拟,通过浮子运动幅值与国外权威数据的对比,验证了CFD方法的准确性.利用该方法研究了浮子吃水、直径和底部形状与浮子运动性能的关系,并从流场的角度分析了底部形状对浮... 对波浪能装置中的圆柱形浮子采用计算流体力学(CFD)方法进行时域模拟,通过浮子运动幅值与国外权威数据的对比,验证了CFD方法的准确性.利用该方法研究了浮子吃水、直径和底部形状与浮子运动性能的关系,并从流场的角度分析了底部形状对浮子的能量吸收与耗散的影响.结果表明:直径相同的圆柱,吃水较大圆柱垂荡运动幅值较大;吃水相同的圆柱,直径较小的圆柱运动幅值较大;对于相同尺度的圆柱,半球形底的圆柱比平底圆柱垂荡性能好,俘获宽度比也较高. 展开更多
关键词 波浪能 浮子 计算流体力学 垂荡 吃水 半球形底 俘获宽度比
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