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半绝缘InP(Fe)的低温氯化物VPE生长
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作者 孙洪波 李玉东 +2 位作者 陈松岩 胡礼中 刘式墉 《高技术通讯》 CAS CSCD 1995年第11期41-44,共4页
介绍了一种半绝缘InP(Fe)的低温氯化物气相外延(VPE)生长方法,生长温度为550℃,可为金属有机气相淀积的量子阱结构二次外延半绝缘InP(Fe)盖层。40μm层厚时电阻率超过5×108Ωcm,临界击穿电压达... 介绍了一种半绝缘InP(Fe)的低温氯化物气相外延(VPE)生长方法,生长温度为550℃,可为金属有机气相淀积的量子阱结构二次外延半绝缘InP(Fe)盖层。40μm层厚时电阻率超过5×108Ωcm,临界击穿电压达到10V以上。用这种方法制备的激光器阈值电流达80mA,较平板式的降低3倍,远场图样平行和垂直结平面方向光功率曲线对称性良好,远场发散角,器件测试得到较好光谱。目前尚未见到其它类似报道。 展开更多
关键词 半绝缘层 氯化物 低温 磷化铟 量子阱结构
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微阵列光寻址生化传感器系统性能研究 被引量:6
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作者 韩泾鸿 梁卫国 +2 位作者 张虹 陈德勇 徐磊 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第6期831-837,共7页
该文介绍一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的微阵列光寻址电位传感器系统(LAPS)。文中研讨了LAPS的基本原理和微阵列光寻址电位传感器系统的制造。通过实验证明了芯片厚度、调制频率、曲线线性度对系统性... 该文介绍一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的微阵列光寻址电位传感器系统(LAPS)。文中研讨了LAPS的基本原理和微阵列光寻址电位传感器系统的制造。通过实验证明了芯片厚度、调制频率、曲线线性度对系统性能的影响,获得多种生化参数的光寻址测试结果。 展开更多
关键词 LAPS 微电子机械系统 光寻址电位传感器 生化传感器 电解质溶液—绝缘层导体结构
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大功率晶闸管芯片终端钝化技术 被引量:1
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作者 王亚飞 戴小平 +1 位作者 高军 王东东 《大功率变流技术》 2017年第6期34-37,共4页
为提高大功率晶闸管使用的可靠性,芯片终端采用新型半绝缘层钝化代替传统绝缘层钝化,以避免界面电荷的积累。文章借助计算机辅助设计(TCAD)模拟界面电荷对高压直流输电用晶闸管阻断能力的影响,并通过高温阻断试验、湿度试验等来进一步... 为提高大功率晶闸管使用的可靠性,芯片终端采用新型半绝缘层钝化代替传统绝缘层钝化,以避免界面电荷的积累。文章借助计算机辅助设计(TCAD)模拟界面电荷对高压直流输电用晶闸管阻断能力的影响,并通过高温阻断试验、湿度试验等来进一步比较两种不同的芯片终端钝化方式。试验证明,半绝缘层钝化可大大提高器件的可靠性,且器件热疲劳寿命能满足HVDC工程应用需求。 展开更多
关键词 晶闸管 可靠性 半绝缘层钝化 界面电荷
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