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题名半绝缘InP(Fe)的低温氯化物VPE生长
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作者
孙洪波
李玉东
陈松岩
胡礼中
刘式墉
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机构
集成光电子国家重点联合实验室吉林大学实验区
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出处
《高技术通讯》
CAS
CSCD
1995年第11期41-44,共4页
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基金
863计划资助项目
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文摘
介绍了一种半绝缘InP(Fe)的低温氯化物气相外延(VPE)生长方法,生长温度为550℃,可为金属有机气相淀积的量子阱结构二次外延半绝缘InP(Fe)盖层。40μm层厚时电阻率超过5×108Ωcm,临界击穿电压达到10V以上。用这种方法制备的激光器阈值电流达80mA,较平板式的降低3倍,远场图样平行和垂直结平面方向光功率曲线对称性良好,远场发散角,器件测试得到较好光谱。目前尚未见到其它类似报道。
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关键词
半绝缘层
氯化物
低温
磷化铟
量子阱结构
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Keywords
VPE,Critical breakdown voltage , Semi-insulation layer
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分类号
TN203
[电子电信—物理电子学]
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题名微阵列光寻址生化传感器系统性能研究
被引量:6
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作者
韩泾鸿
梁卫国
张虹
陈德勇
徐磊
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机构
中国科学院电子学研究所
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出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2003年第6期831-837,共7页
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基金
国家自然科学基金(69977021
69936010)
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文摘
该文介绍一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的微阵列光寻址电位传感器系统(LAPS)。文中研讨了LAPS的基本原理和微阵列光寻址电位传感器系统的制造。通过实验证明了芯片厚度、调制频率、曲线线性度对系统性能的影响,获得多种生化参数的光寻址测试结果。
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关键词
LAPS
微电子机械系统
光寻址电位传感器
生化传感器
电解质溶液—绝缘层—半导体结构
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Keywords
LAPS, MEMS, Biochemical sensor
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分类号
TP212.3
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名大功率晶闸管芯片终端钝化技术
被引量:1
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作者
王亚飞
戴小平
高军
王东东
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机构
新型功率半导体器件国家重点实验室
株洲中车时代电气股份有限公司
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出处
《大功率变流技术》
2017年第6期34-37,共4页
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文摘
为提高大功率晶闸管使用的可靠性,芯片终端采用新型半绝缘层钝化代替传统绝缘层钝化,以避免界面电荷的积累。文章借助计算机辅助设计(TCAD)模拟界面电荷对高压直流输电用晶闸管阻断能力的影响,并通过高温阻断试验、湿度试验等来进一步比较两种不同的芯片终端钝化方式。试验证明,半绝缘层钝化可大大提高器件的可靠性,且器件热疲劳寿命能满足HVDC工程应用需求。
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关键词
晶闸管
可靠性
半绝缘层钝化
界面电荷
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Keywords
thyristor
reliability
semi-insulator passivation
surface charge
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分类号
TN34
[电子电信—物理电子学]
TN305
[电子电信—物理电子学]
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