Be原子在Be基底上的沉积过程研究

利用分子动力学方法模拟了Be原子在Be基底上的沉积过程.模拟了沉积粒子不同入射动能条件下,沉积薄膜表面形态的差异.在一定能量范围内,增加粒子入射动能可以减小薄膜的表面粗糙度.但是,过高的入射动能,不利于减小薄膜表面粗糙度.通过沉积薄膜中原子配位数以及单个原子势能沿薄膜厚度的分布,分析沉积原子入射动能对于薄膜及表面结构的影响.沉积动能较大时,薄膜的密度较大;单个原子势能沿薄膜厚度分布较为连续;同时薄膜中原子应力沿薄膜厚度分布较为连续.最后,分析了沉积粒子能量转化的过程、粒子初始动能对基底表面附近粒子局部动能增加的影响.