一种基于硅基波导的新型谐振式集成光学陀螺(英文)

介绍了一种基于单偏振波导环形谐振腔的新型集成光学陀螺及单偏振环形波导谐振腔的实现方法。其中单偏振光波导由SiO2衬底层、锗掺杂SiO2波导芯层和SiO2上包层组成,整个结构可用硅热氧化技术和PECVD技术生长在硅衬底上。用BPM(束传播法)对设计的单偏振环形谐振腔的传输特性进行仿真分析。结果表明,当入射光波长为1550nm时,此单偏振波导谐振腔对TM模式传输光的消光比是25dB/cm,而对TE模式传输光的传输损耗是0.05dB/cm,谐振腔的精细度可达到35。单偏振波导谐振腔的这些特点适于集成光学陀螺的应用要求,由其研制的集成光学陀螺的分辨率可达到16(°)/h。