单刻线样板检定装置测量不确定度分析

分析了单刻线样板检定装置的测量不确定度,并分析了用该检定装置检定的单刻线样板的不确定度。

精细刻痕深度的检测技术

利用常规的干涉显微镜和立式光学计管或接触式干涉仪光管组合,并对干涉显微镜读数目镜进行技改,用来检测精细刻痕深度。例举单刻线样板进行实测和比对的结果,证明所探讨的技术方案可行。