单基体多镀层膜厚标准的设计及应用研究

通过分析现有镀层膜厚标准器的结构、使用特点及膜厚量值溯源中存在的问题,基于单镀层膜厚溯源技术和真空镀膜技术,设计研制成单体多材料多厚度的镀层膜厚标准器;通过高精度接触式台阶仪和非接触式光学膜厚仪进行膜厚量值的溯源,并应用于X射线荧光镀层测厚仪的误差校准。通过实验验证和对测量结果分析研究表明:2种不同膜厚溯源方法和技术特性具有较好的一致性,应用于X射线荧光镀层测厚仪的示值误差校准达到了预期的效果和测量不确定度要求。单体多材料多厚度膜厚标准为各种膜厚测量仪器的高精度校准和溯源提供了一种新技术方法,具有重要推广应用价值。