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用光切法测量表面粗糙度R_Z、S值的实验研究 被引量:3
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作者 杨晓红 《实验室研究与探索》 CAS 2000年第5期50-53,共4页
用光切法测量表面粗糙度 RZ、S值可实现对表面轮廓要求的二维控制。介绍了原理、操作、处理等方面的技术细节 ,对工程应用具有指导价值。
关键词 光切法 RZ值 S值 单峰平均间距 峰谷 表面粗糙度测量 光切显微镜
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