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溅射输运理论中的经典散射截面
1
作者
张竹林
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期49-53,共5页
利用溅射理论中常用的Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别。计算表明 ,对于Born -Mayer相互作用势碰撞散射 ,双幂截面可以给出比单幂截面好得多的描述。特别对于UrbassekKr-C相互作用势 ...
利用溅射理论中常用的Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别。计算表明 ,对于Born -Mayer相互作用势碰撞散射 ,双幂截面可以给出比单幂截面好得多的描述。特别对于UrbassekKr-C相互作用势 ,只有利用双幂截面求解输运方程才能计算出反冲密度函数比较好的近似值。
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关键词
散射
截面
碰撞级联
溅射输运理论
双幂
截面
Born-Mayer相互作用势
单幂截面
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职称材料
题名
溅射输运理论中的经典散射截面
1
作者
张竹林
机构
淮南工业学院数理系
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期49-53,共5页
基金
安徽省教育厅自然科学基金 (2 0 0 0kj2 2 6 )资助
文摘
利用溅射理论中常用的Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别。计算表明 ,对于Born -Mayer相互作用势碰撞散射 ,双幂截面可以给出比单幂截面好得多的描述。特别对于UrbassekKr-C相互作用势 ,只有利用双幂截面求解输运方程才能计算出反冲密度函数比较好的近似值。
关键词
散射
截面
碰撞级联
溅射输运理论
双幂
截面
Born-Mayer相互作用势
单幂截面
Keywords
Sputtering, Scattering cross section, Collision cascade
分类号
O571.413 [理学—粒子物理与原子核物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溅射输运理论中的经典散射截面
张竹林
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
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