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单晶外延片生产中的应急风险管理分析
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作者 冀大选 董兆清 +1 位作者 丁成 冯啸桐 《集成电路应用》 2023年第10期44-45,共2页
阐述单晶外延片制造企业的生产管理特点,提出完善单晶外延片制造企业生产设备中的安全装置、建立完善良好的应急管理体系、完善监督管理机制的策略。
关键词 半导体制造 单晶外延片 应急管理体系
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