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电场控制金属辅助化学腐蚀制备硅微纳米结构的研究
1
作者
巢炎
姚安琦
+2 位作者
刘先欢
席俊华
王志权
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1605-1609,共5页
采用电场控制贵金属颗粒在单晶硅(111)上成功制备出〈111〉的硅微纳米结构。构建电场驱动下的硅微纳米结构制备模型,研究电场强度对腐蚀速率和两相电场对腐蚀方向的作用规律。验证电场控制腐蚀方向的可行性,得出优化的电场电流密度,...
采用电场控制贵金属颗粒在单晶硅(111)上成功制备出〈111〉的硅微纳米结构。构建电场驱动下的硅微纳米结构制备模型,研究电场强度对腐蚀速率和两相电场对腐蚀方向的作用规律。验证电场控制腐蚀方向的可行性,得出优化的电场电流密度,为控制腐蚀方向,制备可控的硅微纳米结构提供新的方法和实验手段。
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关键词
单晶硅微纳米结构
金属辅助化学腐蚀
电场控制
可控制备
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职称材料
题名
电场控制金属辅助化学腐蚀制备硅微纳米结构的研究
1
作者
巢炎
姚安琦
刘先欢
席俊华
王志权
机构
杭州电子科技大学机械工程学院
杭州电子科技大学材料与环境工程学院
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1605-1609,共5页
基金
浙江省自然科学基金(LY16E050005)
浙江省重中之重学科开放基金(140201201003-010
14201201003-010-003)
文摘
采用电场控制贵金属颗粒在单晶硅(111)上成功制备出〈111〉的硅微纳米结构。构建电场驱动下的硅微纳米结构制备模型,研究电场强度对腐蚀速率和两相电场对腐蚀方向的作用规律。验证电场控制腐蚀方向的可行性,得出优化的电场电流密度,为控制腐蚀方向,制备可控的硅微纳米结构提供新的方法和实验手段。
关键词
单晶硅微纳米结构
金属辅助化学腐蚀
电场控制
可控制备
Keywords
monocrystalline silicon micro-nanostructures
metal-assisted chemical etching method
electric field control
controllable fabrication
分类号
O613.72 [理学—无机化学]
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
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题名
作者
出处
发文年
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1
电场控制金属辅助化学腐蚀制备硅微纳米结构的研究
巢炎
姚安琦
刘先欢
席俊华
王志权
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
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